[发明专利]工件研磨方法和工件研磨装置

摘要

本发明提供工件研磨方法和工件研磨装置，其能够自动制定研磨条件。工件研磨装置具有：修整部，其修整研磨垫的表面；表面性状计测部，其计测研磨垫的表面性状；研磨结果计测部，其计测工件的研磨结果；存储部，其存储通过人工智能来学习如下的相关关系所得到的相关数据，该相关关系为修整条件数据、通过表面性状计测部计测出的研磨垫的表面性状数据、以及对工件进行研磨的情况下的研磨结果数据的相关关系；以及输入部，其输入作为目标的研磨结果，所述人工智能进行如下处理：第1运算处理，根据所述相关数据逆向推断出与作为目标的研磨结果对应的研磨垫的表面性状；和第2运算处理，根据逆向推断出的研磨垫的表面性状导出对应的修整条件。

主权项

1.一种工件研磨装置，其将工件压接在旋转的平台的研磨垫上，一边向所述研磨垫供给研磨液一边进行工件表面的研磨，其特征在于，该工件研磨装置具备：人工智能，其进行数据解析；修整部，其使修整磨具在所述研磨垫的表面上往复移动而按照所需的修整条件对所述研磨垫的表面进行修整；表面性状计测部，其在与所述研磨垫的表面接触的状态下取得与所述研磨垫的接触图像，从而计测出所述研磨垫的表面性状；研磨结果计测部，其对利用由所述修整部进行了修整的研磨垫来研磨工件时的工件的研磨结果进行计测；存储部，其存储通过所述人工智能来学习如下的相关关系而得到的相关数据，其中，所述相关关系是通过所述修整部对所述研磨垫进行修整时的所述修整条件的数据、在该修整后通过所述表面性状计测部计测出的所述研磨垫的表面性状数据、以及在所述修整后对工件进行研磨的情况下的研磨结果数据的相关关系；以及输入部，其向所述人工智能输入作为目标的研磨结果，在所述人工智能中安装有学习型算法，该学习型算法进行如下的运算处理：第1运算处理，根据所述相关数据逆向推断出与作为所述目标的研磨结果相对应的所述研磨垫的表面性状；和第2运算处理，根据所述逆向推断出的所述研磨垫的表面性状导出对应的所述修整条件。