[发明专利]一种组合型抛光液

摘要

本发明涉及一种组合型抛光液，属于精密加工领域。一种组合型抛光液，其特征是，所述组合型抛光液包括两组独立的抛光液I和II，各组抛光液按质量百分比，包括1~25%的磨料和75~99%的基液，所述抛光液I所用磨料为氧化铝晶须、SiC晶须、ZnO晶须、碳纤维；所述抛光液II所用磨料为平均粒径为0.5~50微米的超硬材料颗粒。在利用上述组合抛光液进行抛光时，首先使用抛光液I进行抛光，再使用抛光液II进行抛光。抛光液I中的磨料为晶须，其可像“刀刃”一样取出较高且材料表面凸起；随后利用抛光液II进行二次抛光，利用较细的磨粒处理表面。利用上方法可以有效去除材料表面不同程度的凸起。

主权项

1.一种组合型抛光液，其特征是，所述组合型抛光液包括两组独立的抛光液I和II，各组抛光液按质量百分比，包括1~25%的磨料和75~99%的基液，所述抛光液I所用磨料为氧化铝晶须、SiC晶须、ZnO晶须、碳纤维，且磨料的长径比为2~10，长度为5~10微米；所述抛光液II所用磨料为平均粒径为0.5~50微米的超硬材料颗粒，所述超硬材料为金刚石颗粒、立方BN颗粒、SiC颗粒，所述基液按下述方法制备所得， 包括下述工艺步骤：（1）将SiO2纳米粒子与硅烷偶联剂和乙二醇按质量比为100:1~2:5~10混合后进行球磨，球磨时间至少0.5h，球磨后进行干燥，得到预处理的SiO2纳米粒子；（2）将顺丁烯二酸酐按与水的质量比为15~50:100溶于水中，90～105℃，在过硫酸铵存在下使其与丙烯酸反应4~6 h，反应同时向反应液内滴加质量分数为30~40%NaOH溶液，反应完毕后调节溶液pH值为7~7.5，得共聚物溶液，其中，顺丁烯二酸酐与丙烯酸的摩尔比1:0.5~2，过硫酸铵与顺丁烯二酸酐的摩尔比为0.1~5:100；（3）将步骤（1）所得预处理的SiO2纳米粒子按0.5~5g:10mL溶于步骤（2）所得共聚物溶液中，超声分散，干燥；将干燥所得SiO2纳米粒子按与介质溶剂的质量比为10:4~8分散于介质溶剂中，超声分散，得抛光液用基液。