[发明专利]基板处理装置、基板处理方法及计算机可读取的记录介质

摘要

提供一种一边高效地对基板进行处理一边有效地对杯内进行清洗的基板处理装置、基板处理方法及计算机可读取的记录介质。基板处理方法包括以下工序：在基板被配置在杯的内侧的状态下，一边使基板绕沿与基板的表面正交的方向延伸的旋转轴以基板的转速在第一转速与同该第一转速不同的第二转速之间变化的方式旋转，一边使安装于杯的冲洗液喷嘴向基板的背面且周缘部供给冲洗液，由此利用供给到背面的冲洗液来对杯中的冲洗液喷嘴的周边区域以及杯中的比周边区域靠外侧的区域这双方进行清洗。

主权项

1.一种基板处理装置，具备：旋转保持部，其一边保持基板一边使所述基板旋转；液供给部，其具有至少一个冲洗液喷嘴，所述至少一个冲洗液喷嘴位于所述基板的背面侧，构成为向所述基板的背面且周缘部供给冲洗液；杯，其安装有所述冲洗液喷嘴，该杯用于接收向所述基板供给的液体；以及控制部，其中，所述控制部执行第一处理，在该第一处理中，所述控制部在所述基板被配置在所述杯的内侧的状态下对所述旋转保持部和所述液供给部进行控制，一边使由所述旋转保持部保持的所述基板的转速在第一转速与同该第一转速不同的第二转速之间变化，一边使所述冲洗液喷嘴向所述背面且所述周缘部供给冲洗液，由此利用供给到所述背面的冲洗液来对所述杯中的所述冲洗液喷嘴的周边区域以及所述杯中的比所述周边区域靠外侧的区域这双方进行清洗。