[发明专利]蓝宝石衬底摆放架在审
| 申请号： | 201810033408.7 | 申请日： | 2018-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN108198781A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 肖森;黄玲玲;王忠辉 | 申请（专利权）人： | 江苏冠达通电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 张欢勇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。本发明采用与气源相连通的出气管可以向架体正面正上方出气，通过气体将蓝宝石衬底吹浮起来，防止蓝宝石衬底与架体的直接接触，防止宝石衬底与架体碰撞与摩擦造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 架体 衬底 挡块 蓝宝石 出气管 架体正面 摆放架 导气管 直线型 气源相连通 规则形状 向上凸起 出气 进气源 侧边 宝石 摩擦 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，其特征在于：相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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