[发明专利]蓝宝石衬底摆放架

权利要求书

1.一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，其特征在于：相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。

2.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：相邻两个所述挡块之间的所述架体正面设有三个出气管，三个所述出气管均与水平方向呈一定夹角设置。

3.根据权利要求2所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：三个所述出气管环形阵列设置，所述夹角为25°-65°。

4.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述架体正面的两个挡块之间设有弧形内凹结构。

5.根据权利要求1或2或4所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述挡块的两侧面向中心内凹。

6.根据权利要求1所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述架体内部为中空管状结构，所述中空管状结构即为导气管，在所述架体的中空管状结构的端部设有导气管的副管，所述导气管的副管与所述进气源相连。

7.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述导气管的两端的副管上设置有流量控制阀，控制空气的进入量。

8.根据权利要求6所述的蓝宝石衬底摆放架，其特征在于：所述副管的端部设有快接接口，所述副管通过所述快接接口与进气源相连。