[发明专利]蓝宝石衬底摆放架在审

申请号：	201810033408.7	申请日：	2018-01-15
公开（公告）号：	CN108198781A	公开（公告）日：	2018-06-22
发明（设计）人：	肖森;黄玲玲;王忠辉	申请（专利权）人：	江苏冠达通电子科技有限公司
主分类号：	H01L21/687	分类号：	H01L21/687
代理公司：	无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260	代理人：	张欢勇
地址：	215000 江苏省苏州***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	架体衬底挡块蓝宝石出气管架体正面摆放架导气管直线型气源相连通规则形状向上凸起出气进气源侧边宝石摩擦损伤
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【说明书】：

本发明公开了一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。本发明采用与气源相连通的出气管可以向架体正面正上方出气，通过气体将蓝宝石衬底吹浮起来，防止蓝宝石衬底与架体的直接接触，防止宝石衬底与架体碰撞与摩擦造成损伤。

技术领域

本发明涉及蓝宝石衬底生产配套设备领域，尤其涉及一种蓝宝石衬底摆放架。

背景技术

目前，在蓝宝石生产加工过程中面对与蓝宝石衬底的摆放一般都是放置在摆放架上，层叠放置，这样容易造成蓝宝石衬底之间容易吸附，造成后续加工过程中难以分开，影响正常加工，降低加工效率，而且在分开过程中容易造成蓝宝石衬底受损。

又如中国专利文献CN204118052U中公开了一种蓝宝石衬底摆放架，它包括架体，所述架体为规则形状；在架体上呈直线型或环型设有若干个向上凸起的挡块，挡块之间的间隔相同；且挡块为直线型设置时，最外侧的两块挡块位于架体的侧边。蓝宝石衬底很薄且很脆，在拿取时要很小心且要防止颠簸。而该装置由于在挡块中设置导气管，所以在放置蓝宝石衬底时，若是放置宽度小于两个挡块的蓝宝石衬底，则该蓝宝石衬底就会搁置在架体上，会与架体磕碰到，且若是移动的话会很颠簸，会与架体摩擦进而形成损坏。

发明内容

为克服上述缺点，本发明的目的在于提供一种不会与架体碰撞与摩擦的蓝宝石衬底摆放架。

为了达到以上目的，本发明采用的技术方案是：一种蓝宝石衬底摆放架，包括架体，所述架体为规则形状，在所述架体上呈直线型或环形设有若干个向上凸起的挡块，相邻两个所述挡块之间的间隔相同，且所述挡块为直线型设置时，最外侧的两个所述挡块位于所述架体的侧边，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面均设有至少两个出气管，每个所述出气管均与导气管相连通，所述导气管的一端或两端连接有进气源。本发明的有益效果：采用与气源相连通的出气管可以向架体正面正上方出气，通过气体将蓝宝石衬底吹浮起来，防止蓝宝石衬底与架体的直接接触，防止宝石衬底与架体碰撞与摩擦造成损伤。

优选地，相邻两个所述挡块之间的所述架体正面设有三个出气管，三个所述出气管均与水平方向呈一定夹角设置。采用倾斜设置的三个出气管可以吹出倾斜的风，使得风能与蓝宝石衬底尽可能多的接触，且三点确定一个平面，能增加稳定性的同时减少成本。

优选地，三个所述出气管环形阵列设置，所述夹角为25°-65°。通过采用环形阵列设置的出气管能够增加蓝宝石衬底的稳定性。

优选地，所述架体正面的两个挡块之间设有弧形内凹结构。采用弧形内凹结构能够更好的契合圆形的蓝宝石玻璃衬底，也增加了在拿取放置时的便捷性。

优选地，所述挡块的两侧面向中心内凹。采用两侧面向中心内凹的挡块，能够更好的契合圆形的蓝宝石玻璃衬底，也增加了在拿取放置时的便捷性。

优选地，所述架体内部为中空管状结构，所述中空管状结构即为导气管，在所述架体的中空管状结构的端部设有导气管的副管，所述导气管的副管与所述进气源相连。

优选地，所述导气管的两端的副管上设置有流量控制阀，控制空气的进入量。

优选地，所述副管的端部设有快接接口，所述副管通过所述快接接口与进气源相连。

附图说明

图1为本发明的剖视图；

图2为本发明的俯视图。

图中：

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