[发明专利]复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201810030329.0 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108559959A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 黄小军;诸斌;顾宗慧;庄志杰;周钧;庄猛 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中，一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材材料 重量份 复合金属氧化物 靶材 制备 混合浆料 制备方法工艺 喷雾造粒 特性需求 分散剂 水混合 氧化铝 氧化镁 氧化锌 粘结剂 溅射 | ||
【主权项】：
1.一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。
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