[发明专利]复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201810030329.0 | 申请日： | 2018-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN108559959A | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 黄小军;诸斌;顾宗慧;庄志杰;周钧;庄猛 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材材料 重量份 复合金属氧化物 靶材 制备 混合浆料 制备方法工艺 喷雾造粒 特性需求 分散剂 水混合 氧化铝 氧化镁 氧化锌 粘结剂 溅射 | ||
1.一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
取90-95.8重量份的氧化锌、8-8.4重量份的氧化镁、2-2.1重量份的氧化铝、0.15-0.25重量份的分散剂、0.07-0.08重量份的粘结剂、以及4-5重量份的水混合后得到混合浆料；
对所述混合浆料进行喷雾造粒。
2.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，所述分散剂选自月桂醚或聚乙二醇。
3.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，所述粘结剂选自聚丙烯酸铵或聚乙烯醇。
4.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，所述混合为球磨、搅拌或超声分散。
5.根据权利要求1所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法，其特征在于，在所述喷雾造粒的过程中，对所述混合浆料进行离心，离心速度为6000rpm-7000rpm。
6.一种复合金属氧化物靶材材料，其特征在于，采用权利要求1-5任一项所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法制得。
7.根据权利要求6所述的复合金属氧化物靶材材料，其特征在于，所述靶材材料的颗粒粒径为250目-400目。
8.一种复合金属氧化物靶材的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：
在惰性气氛下，将权利要求6-7任一项所述的靶材材料等离子喷涂至基体上形成复合金属氧化物层；对所述复合金属氧化物层进行抛光，从而得到复合金属氧化物靶材。
9.一种复合金属氧化物靶材，其特征在于，采用如权利要求8所述的复合金属氧化物靶材的制备方法制得。
10.根据权利要求9所述的复合金属氧化物靶材，其特征在于，所述靶材的含氧量为2.2×106ppm-2.5×106ppm。
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