[发明专利]复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法

说明书

本发明涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。其中，一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：取90‑95.8重量份的氧化锌、8‑8.4重量份的氧化镁、2‑2.1重量份的氧化铝、0.15‑0.25重量份的分散剂、0.07‑0.08重量份的粘结剂、以及4‑5重量份的水混合后得到混合浆料；对所述混合浆料进行喷雾造粒。上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。

技术领域

本发明涉及一种合金材料领域，特别是涉及一种复合金属氧化物靶材材料、靶材及靶材材料、靶材的制备方法。

背景技术

复合金属氧化物靶材材料具有良好的光电特性，被广泛应用于各种光电器件加工中。

目前，传统的复合金属氧化物靶材材料多为氧化铟锡，但因制备工艺复杂且成本高昂而制约着氧化铟锡的应用。

发明内容

基于此，有必要针对上述问题，提供一种工艺简单、成本低廉的新型复合金属氧化物靶材材料的制备方法。

一种复合金属氧化物靶材材料的制备方法，包括如下步骤：

取90-95.8重量份的氧化锌、8-8.4重量份的氧化镁、2-2.1重量份的氧化铝、0.15-0.25重量份的分散剂、0.07-0.08重量份的粘结剂、以及4-5重量份的水混合后得到混合浆料；

对所述混合浆料进行喷雾造粒。

上述复合金属氧化物靶材材料的制备方法工艺简单、成本低廉。由此方法制得靶材材料的颗粒大小匀称，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。

在其中一个实施例中，所述分散剂选自月桂醚或聚乙二醇。

在其中一个实施例中，所述粘结剂选自聚丙烯酸铵或聚乙烯醇。

在其中一个实施例中，所述混合为球磨、搅拌或超声分散。

在其中一个实施例中，在所述喷雾造粒的过程中，对所述混合浆料进行离心，离心速度为6000rpm-7000rpm。

本发明还提供了一种复合金属氧化物靶材材料。

一种复合金属氧化物靶材材料，采用本发明所述的复合金属氧化物靶材材料的制备方法制得。

上述靶材材料的颗粒大小均匀，呈球形。此外，靶材材料颗粒中各元素均匀分布于靶材材料颗粒中，进而能够满足靶材材料溅射的特性需求。

在其中一个实施例中，所述靶材材料的颗粒粒径为250目-400目。

本发明还提供了一种复合金属氧化物靶材的制备方法。

一种复合金属氧化物靶材的制备方法，包括如下步骤：

在惰性气氛下，将本发明所述的靶材材料等离子喷涂至基体上形成复合金属氧化物层；对所述复合金属氧化物层进行抛光，从而得到复合金属氧化物靶材。

上述复合金属氧化物靶材的制备方法的优点是生产效率高，可以制作不同规格的靶材。

本发明还提供了一种复合金属氧化物靶材。

一种复合金属氧化物靶材采用如本申请所述的复合金属氧化物靶材的制备方法制得。

上述复合金属氧化物靶材中各元素分布均匀，靶材表面无裂痕和气孔、不结瘤、无打弧现象，且含氧量低、不容易发生异常放电或粒子溅疤。