[发明专利]微机械传感器设备的制造方法和相应的微机械传感器设备在审
| 申请号： | 201810019096.4 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN108285125A | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | A·克劳斯;E·普赖斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提出一种微机械传感器设备和一种相应的制造方法。微机械传感器设备配备有衬底(1)，该衬底具有膜片区域(M)，其中，在膜片区域(M)上构造有多个传感器层区域(S1‑S3)，所述传感器层区域具有相应的结构化传感器层(200；300；400)；和各个电极装置(L1a、L1b；L2a、L2b；L3a、L3b)，传感器层区域(S1‑S3)能够通过所述电极装置电连接所述膜片区域(M)的外部，其中，所述传感器层区域(S1‑S3)这样结构化，使得所述传感器层区域具有1到10微米之间的数量级的长度和宽度尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器层 微机械传感器 膜片区域 电极装置 结构化 衬底 设备配备 电连接 制造 外部 | ||
【主权项】：
1.用于制造微机械传感器设备的方法，所述方法具有以下步骤：提供衬底(1)，该衬底具有膜片区域(M)；在所述膜片区域(M)上构造多个电极装置(L1a、L1b；L2a、L2b；L3a、L3b)，所述电极装置延伸直至所述膜片区域(M)的外部；在所述膜片区域(M)上的分别对应的电极装置(L1a、L1b；L2a、L2b；L3a、L3b)上形成多个结构化的传感器层区域(S1‑S3)，所述传感器层区域具有相应的结构化传感器层(200；300；400)；并且其中，为了形成所述多个结构化的传感器层区域(S1‑S3)实施以下步骤：将第一传感器层(200)沉积在具有所述电极装置(L1a、L1b；L2a、L2b；L3a、L3b)的所述衬底(1)上；将第一保护层(201)沉积在所述第一传感器层(200)上；使在第一电极装置(L1a、L1b)上的第一堆叠(ST1)结构化，该第一堆叠具有带有所述第一传感器层(200)的所述第一传感器层区域(S1)和位于该第一传感器层上的所述第一保护层(201)；将第二传感器层(300)沉积在所述第一堆叠(ST1)和所述衬底(1)上；将第二保护层(301)沉积在所述第二传感器层(300)上；同时使在所述第一电极装置(L1a、L1b)上的所述第一堆叠(ST1)再结构化并且使在第二电极装置(L2a、L2b)上的第二堆叠(ST2)结构化，该第一堆叠具有带有所述第一传感器层(200)的所述第一传感器层区域(S1)和位于该第一传感器层上的所述第一保护层(201)、所述第二传感器层(300)和所述第二保护层(301)，该第二堆叠具有带有所述第二传感器层(300)的所述第二传感器层区域(S2)和位于该第二传感器层上的所述第二保护层(301)；并且使所述第一传感器层区域(S1)和所述第二传感器层区域(S2)露出。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗伯特·博世有限公司，未经罗伯特·博世有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201810019096.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种智能饮料容器载体
- 下一篇：一种大面积单层胶体微球阵列的制备方法
