[发明专利]真空吸附门吸装置在审
| 申请号： | 201810018116.6 | 申请日： | 2018-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN110195537A | 公开（公告）日： | 2019-09-03 |
| 发明（设计）人： | 赵宁;张志军;李玉敏 | 申请（专利权）人： | 北京半导体专用设备研究所（中国电子科技集团公司第四十五研究所） |
| 主分类号： | E05C17/52 | 分类号： | E05C17/52 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 黄彩荣 |
| 地址： | 100176 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种真空吸附门吸装置，包括缸体以及与所述缸体连接的真空吸盘，缸体内安装有延伸至真空吸盘外部的弹性复位件，缸体上设有用于连接真空源的第一通孔以及用于与真空吸盘连接的第二通孔，弹性复位件上设有第三通孔，其中：弹性复位件压缩时，缸体上的第一通孔和第二通孔与弹性复位件上的第三通孔连通，真空吸盘产生吸附力；弹性复位件复位时，缸体上的第一通孔和第二通孔与弹性复位件上的第三通孔断开，真空吸盘释放吸附力。本申请的真空吸附方式不存在电磁干扰问题，也不需要在门的活动区域内布置线缆。在门打开或关闭时有一个真空释放或真空吸附过程，缓冲了可能存在的振动或碰撞问题，可有效避免开关门过程中产生微粒污染的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 通孔 弹性复位件 缸体 真空吸盘 真空吸附 门吸装置 吸附力 电磁干扰问题 真空吸附方式 真空吸盘连接 活动区域 微粒污染 真空释放 开关门 门打开 真空源 断开 复位 缓冲 线缆 连通 体内 释放 压缩 外部 延伸 申请 | ||
【主权项】：
1.一种真空吸附门吸装置，其特征在于,包括缸体以及与所述缸体连接的真空吸盘，所述缸体内安装有延伸至所述真空吸盘外部的弹性复位件，所述缸体上设有用于连接真空源的第一通孔以及用于与所述真空吸盘连接的第二通孔，所述弹性复位件上设有第三通孔，其中：所述弹性复位件压缩时，所述缸体上的第一通孔和第二通孔与所述弹性复位件上的第三通孔连通，所述真空吸盘产生吸附力；所述弹性复位件复位时，所述缸体上的第一通孔和第二通孔与所述弹性复位件上的第三通孔断开，所述真空吸盘释放吸附力。
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