[发明专利]一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置在审
| 申请号： | 201810015404.6 | 申请日： | 2018-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN108322991A | 公开（公告）日： | 2018-07-24 |
| 发明（设计）人： | 周永杰;马俊;李斐;县涛;魏学刚;刘雅静 | 申请（专利权）人： | 青海师范大学 |
| 主分类号： | H05H1/48 | 分类号： | H05H1/48 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 810008 青*** | 国省代码： | 青海;63 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，包括石英玻璃筒、密封板、电极以及接线柱，上下两个密密封板通过支撑柱以及固定螺栓连接固定，在上下两个密密封板之间的中间位置安装有电极，且电极通过石英玻璃筒密封，在石英玻璃筒的一侧上方开设有进气口，通过进气口通入不同的放电气体，在石英玻璃筒的另一侧下方开设有出气口，电极通过上部的接线柱与外部等离子体电源连接。本发明可以显著降低等离子体的点火电压，同时由于半密封环境，可用于有毒有害气体的等离子体放电，另外双电极可用不同频率组合的双电源驱动，有利于获得较大的等离子体密度，且应用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 石英玻璃筒 电极 密封板 进气口 等离子体 辉光放电 实验装置 半封闭 接线柱 常压 可用 双频 等离子体电源 等离子体放电 双电源驱动 应用范围广 点火电压 放电气体 固定螺栓 连接固定 频率组合 半密封 出气口 双电极 支撑柱 密封 外部 | ||
【主权项】：
1.一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：包括石英玻璃筒(1)、密封板(2)、进气口(3)、出气口(4)、电极(5)以及接线柱(6)，所述密封板(2)分为上下两个，上下两个密密封板(2)通过支撑柱(12)以及固定螺栓(8)连接固定，在上下两个密密封板(2)之间的中间位置安装有电极(5)，且电极(5)通过石英玻璃筒(1)密封，在石英玻璃筒(1)的一侧上方开设有进气口(3)，通过所述进气口(3)通入不同的放电气体，在石英玻璃筒(1)的另一侧下方开设有出气口(3)，所述电极(5)通过上部的接线柱(6)与外部等离子体电源连接。
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