[发明专利]一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置

说明书

本发明公开了一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，包括石英玻璃筒、密封板、电极以及接线柱，上下两个密密封板通过支撑柱以及固定螺栓连接固定，在上下两个密密封板之间的中间位置安装有电极，且电极通过石英玻璃筒密封，在石英玻璃筒的一侧上方开设有进气口，通过进气口通入不同的放电气体，在石英玻璃筒的另一侧下方开设有出气口，电极通过上部的接线柱与外部等离子体电源连接。本发明可以显著降低等离子体的点火电压，同时由于半密封环境，可用于有毒有害气体的等离子体放电，另外双电极可用不同频率组合的双电源驱动，有利于获得较大的等离子体密度，且应用范围广。

技术领域

本发明涉及常压等离子体技术领域，尤其涉及一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置。

背景技术

常压辉光放电等离子体装置因其不需真空设备、成本相对低廉且有着广泛的应用前景，而日益引起人们的关注，它既具有传统大气压放电体系载能粒子密度高、系统结构设计空间大等优点，又具有低气压辉光放电放电等离子体的低温特点。

但是目前的常压辉光放电等离子体装置，无法同时满足辉光等离子体的大面积和高密度，同时由于放电发生的大气环境下，不能用于有毒有害气体的等离子体放电过程，从而导致了装置应用的局限性。

发明内容

本发明的目的在于提供种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，以解决上述技术问题。

为实现上述目的本发明采用以下技术方案：

一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，包括石英玻璃筒、密封板、进气口、出气口、电极以及接线柱，所述密封板分为上下两个，上下两个密密封板通过支撑柱以及固定螺栓连接固定，在上下两个密密封板之间的中间位置安装有电极，且电极通过石英玻璃筒密封，在石英玻璃筒的一侧上方开设有进气口，通过所述进气口通入不同的放电气体，在石英玻璃筒的另一侧下方开设有出气口，所述电极通过上部的接线柱与外部等离子体电源连接。

作为本案发明进一步方案：还包括密封圈，所述密封圈将石英玻璃筒与上下两个密封板连接处密封，通过石英玻璃筒、上下两个密封板、固定螺栓、密封圈、进气口以及出气口构成半密封腔。

作为本案发明进一步方案：所述电极分为上下两个电极，根据不同应用条件，通过双低频电源、双射频电源、或一个低频和一个射频不同的组合方式驱动两个电极。

作为本案发明进一步方案：上下两个电极之间的间距通过调高垫厚度的不同来调节。

作为本案发明进一步方案：所述电极为不锈钢或铝制圆柱，圆柱底面直径为5cm，圆柱沿圆周面有与圆柱底面平行的凹槽。

作为本案发明进一步方案：该装置底部安装有隔振橡胶垫。

作为本案发明进一步方案：所述密封板、密封圈以及调高垫为聚四氟乙烯材质。

作为本案发明进一步方案：半密封腔保证了电极之间及电极周围环境充入均匀不同放电气体，根据实验要求，通过所述进气口通入有毒有害的气体进行实验室光谱测量，并通过在所述出气口连接回收装置回收有毒有害气体，或者通过在所述出气口连接较长软管将有毒有害的气体排放到室外，以保障实验人员安全。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：本发明提供的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，通过提供半密封环境，确保电极之间及电极周围环境充入均匀不同放电气体，可以显著降低等离子体的点火电压，同时由于半密封环境，可用于有毒有害气体的等离子体放电，另外双电极可用不同频率组合的双电源驱动，双频驱动有利于获得较大的等离子体密度，电极之间的间距可用不同厚度的调高垫调节，增加了这种装置的应用范围。

附图说明

图1为本发明整体结构示意图。