[发明专利]一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置

权利要求书

1.一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：包括石英玻璃筒(1)、密封板(2)、进气口(3)、出气口(4)、电极(5)以及接线柱(6)，所述密封板(2)分为上下两个，上下两个密密封板(2)通过支撑柱(12)以及固定螺栓(8)连接固定，在上下两个密密封板(2)之间的中间位置安装有电极(5)，且电极(5)通过石英玻璃筒(1)密封，在石英玻璃筒(1)的一侧上方开设有进气口(3)，通过所述进气口(3)通入不同的放电气体，在石英玻璃筒(1)的另一侧下方开设有出气口(3)，所述电极(5)通过上部的接线柱(6)与外部等离子体电源连接。

2.根据权利要求1所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：还包括密封圈(10)，所述密封圈(10)将石英玻璃筒(1)与上下两个密封板(2)连接处密封，通过石英玻璃筒(1)、上下两个密封板(2)、固定螺栓(8)、密封圈(10)、进气口(3)以及出气口(4)构成半密封腔。

3.根据权利要求1所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：所述电极(5)分为上下两个电极，根据不同应用条件，通过双低频电源、双射频电源、或一个低频和一个射频不同的组合方式驱动两个电极。

4.根据权利要求3所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：上下两个电极之间的间距(11)通过调高垫(7)厚度的不同来调节。

5.根据权利要求4所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：所述电极(5)为不锈钢或铝制圆柱，圆柱底面直径为5cm，圆柱沿圆周面有与圆柱底面平行的凹槽。

6.根据权利要求1所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：该装置底部安装有隔振橡胶垫(9)。

7.据权利要求1所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：所述密封板(2)、密封圈(10)以及调高垫(7)为聚四氟乙烯材质。

8.根据权利要求2所述的一种半封闭常压双频大面积辉光放电实验装置，其特征在于：半密封腔保证了电极之间及电极周围环境充入均匀不同放电气体，根据实验要求，通过所述进气口(3)通入有毒有害的气体进行实验室光谱测量，并通过在所述出气口(4)连接回收装置回收有毒有害气体，或者通过在所述出气口(4)连接较长软管将有毒有害的气体排放到室外，以保障实验人员安全。