[发明专利]单层多晶硅非易失性存储单元的操作方法有效
申请号: | 201810010973.1 | 申请日: | 2018-01-05 |
公开(公告)号: | CN108346662B | 公开(公告)日: | 2020-10-13 |
发明(设计)人: | 许家荣;孙文堂 | 申请(专利权)人: | 力旺电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/115 | 分类号: | H01L27/115 |
代理公司: | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人: | 江耀纯 |
地址: | 中国台*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: |
本发明公开了一种单层多晶硅非易失性存储单元的擦除操作方法,将一源极线电压V |
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搜索关键词: | 单层 多晶 硅非易失性 存储 单元 操作方法 | ||
【主权项】:
1.一种单层多晶硅非易失性存储单元的操作方法,其特征在于,该单层多晶硅非易失性存储单元包含设置在一N型阱上且互相串联的一PMOS选择晶体管及一PMOS浮置栅极晶体管,其中该PMOS浮置栅极晶体管包括一浮置栅极及一浮置栅极延伸部,而该浮置栅极延伸部与一擦除栅极区域电容耦合,该方法包含:通过将一位线电压施加到该PMOS浮置栅极晶体管的P+漏极掺杂区,对该擦除栅极区施加一擦除线电压,对该N型阱施加一N型阱电压,以擦除该单层多晶硅非易失性存储单元,其中该位线电压为0V,而该擦除线电压是相对高于该位线电压的正电压;其中,该N型阱电压大于0V,且其电压值介于一第一漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat1及一第二漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat2之间,其中该第一漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat1是确保在擦除操作初始时在该浮置栅极之下的一P通道两端不会发生夹断现象(pinchoff)的一上限电压,而该第二漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat2是当该浮置栅极处于擦除状态时,确保在P通道的两端发生夹断现象的一下限电压。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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