[发明专利]单层多晶硅非易失性存储单元的操作方法有效

专利信息
申请号: 201810010973.1 申请日: 2018-01-05
公开(公告)号: CN108346662B 公开(公告)日: 2020-10-13
发明(设计)人: 许家荣;孙文堂 申请(专利权)人: 力旺电子股份有限公司
主分类号: H01L27/115 分类号: H01L27/115
代理公司: 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 代理人: 江耀纯
地址: 中国台*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明公开了一种单层多晶硅非易失性存储单元的擦除操作方法,将一源极线电压VSL施加到PMOS选择晶体管的P+源极掺杂区,其中VSL=0V,将字线电压VWL施加到PMOS选择晶体管的选择栅极,其中VWL=0V,将位线电压VBL施加到PMOS浮置栅极晶体管的P+漏极掺杂区,其中VBL=0V,对擦除栅极区施加擦除线电压VEL,其中VEL=VEE,VEE是相对高于VBL的正电压,对N型阱施加N型阱电压VNW,其中VNW0V,以擦除该单层多晶硅非易失性存储单元。
搜索关键词: 单层 多晶 硅非易失性 存储 单元 操作方法
【主权项】:
1.一种单层多晶硅非易失性存储单元的操作方法,其特征在于,该单层多晶硅非易失性存储单元包含设置在一N型阱上且互相串联的一PMOS选择晶体管及一PMOS浮置栅极晶体管,其中该PMOS浮置栅极晶体管包括一浮置栅极及一浮置栅极延伸部,而该浮置栅极延伸部与一擦除栅极区域电容耦合,该方法包含:通过将一位线电压施加到该PMOS浮置栅极晶体管的P+漏极掺杂区,对该擦除栅极区施加一擦除线电压,对该N型阱施加一N型阱电压,以擦除该单层多晶硅非易失性存储单元,其中该位线电压为0V,而该擦除线电压是相对高于该位线电压的正电压;其中,该N型阱电压大于0V,且其电压值介于一第一漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat1及一第二漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat2之间,其中该第一漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat1是确保在擦除操作初始时在该浮置栅极之下的一P通道两端不会发生夹断现象(pinchoff)的一上限电压,而该第二漏极‑源极饱和电压VDS‑Sat2是当该浮置栅极处于擦除状态时,确保在P通道的两端发生夹断现象的一下限电压。
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