[发明专利]衬底处理设备

摘要

本发明涉及一种能够阻挡颗粒从衬底的下部部分落到下部衬底的表面的衬底处理设备。根据示范性实施例的衬底处理设备可包含：衬底舟，其包含以多级方式连接到多个棒的多个中空板，其中多个衬底分别加载于多个中空板上；反应管，其具有容纳衬底舟的容纳空间；气体供应部分，其被配置成从反应管的一侧供应处理气体到反应管中；以及排气部分，其被配置成从反应管的另一侧排出反应管中的处理残余物。每个中空板可包含界定竖直通过的中空部分的边缘部分。

主权项

1.一种衬底处理设备，其包括：衬底舟，其包括以多级方式连接到多个棒的多个中空板，其中多个衬底分别加载于所述多个中空板上；反应管，其具有容纳所述衬底舟的容纳空间；气体供应部分，其被配置成从所述反应管的一侧供应处理气体到所述反应管中；以及排气部分，其被配置成从所述反应管的另一侧排出所述反应管中的处理残余物，其中所述中空板中的每个中空板包括边缘部分，所述边缘部分界定竖直通过的中空部分。