[其他]用于处理腔室的腔室部件、用于处理腔室的屏蔽的设计膜以及处理腔室有效
| 申请号： | 201790001227.5 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN210156345U | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 甘加达尔·希拉瓦特;卡里阿帕·阿沙阿帕·巴杜维曼达;考希克·维迪亚;波柏纳·伊谢提拉·瓦珊塔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 于此公开用于处理腔室的腔室部件、用于处理腔室的屏蔽的设计膜以及处理腔室。在一个实施方式中，用于处理腔室的腔室部件具有基底部件主体。所述基底部件主体具有外部表面，所述外部表面经配置以面对所述处理腔室的处理环境。纹理化表层顺应于所述外部表面。纹理化表层具有第一侧及第二侧，所述第一侧经配置以设置抵靠所述外部表面，所述第二侧背对所述第一侧。所述第二侧具有多个设计特征，所述设计特征经配置以在所述处理腔室的使用期间增强所述纹理化表层上所沉积材料的附着性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 处理 部件 屏蔽 设计 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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