[其他]用于处理腔室的腔室部件、用于处理腔室的屏蔽的设计膜以及处理腔室

权利要求书

1.一种用于处理腔室的腔室部件，其特征在于，所述腔室部件包括：

基底部件主体，所述基底部件主体具有外部表面，所述外部表面经配置以面对所述处理腔室的处理环境；及

纹理化表层，所述纹理化表层顺应于所述外部表面，所述纹理化表层包括：

第一侧，所述第一侧经配置以设置抵靠所述外部表面；

第二侧，所述第二侧背对所述第一侧；以及

多个设计(engineered)特征，所述设计特征以重复图案形成并规则地间隔在所述第二侧上而不在所述第一侧上，其中所述设计特征经配置以在所述处理腔室的使用期间增强所述纹理化表层上所沉积材料的附着性。

2.如权利要求1所述的腔室部件，所述腔室部件进一步包括：

附着剂，所述附着剂设置在所述纹理化表层与所述基底部件主体之间，其中所述附着剂固定所述纹理化表层至所述基底部件主体。

3.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述腔室部件为衬垫、喷头、屏蔽或环中的一个。

4.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述腔室部件进一步包括：

附着剂，所述附着剂固定所述纹理化表层至所述基底部件主体。

5.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述纹理化表层压迫适配于所述基底部件主体且结合至所述基底部件主体。

6.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述腔室部件进一步包括：

机械联锁，所述机械联锁设置于所述纹理化表层与所述基底部件主体之间以结合所述纹理化表层至所述基底部件主体。

7.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述纹理化表层收缩适配于所述基底部件主体以结合至所述基底部件主体。

8.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述纹理化表层被3D打印于所述基底部件主体上。

9.如权利要求1所述的腔室部件，其中所述纹理化表层与所述基底部件主体之间的结合为可移除的。

10.一种用于处理腔室的屏蔽的设计膜，其特征在于，所述设计膜包括：

基底，所述基底具有处理面对表面及相对于所述处理面对表面的底部表面，所述基底保形(conformal)于所述屏蔽；

多个设计特征，所述设计特征以重复图案形成并规则地间隔在所述处理面对表面上且不在所述底部表面上，所述设计特征经配置以增强在所述处理腔室的使用期间在所述处理面对表面上所沉积材料的附着性；及

联锁特征，所述联锁特征经配置以将所述设计膜固定至所述屏蔽。

11.如权利要求10所述的设计膜，其中所述联锁特征经配置以允许所述设计膜机械地固定至所述屏蔽且自所述屏蔽移除。

12.如权利要求11所述的设计膜，其中所述联锁特征包括：

机械紧固器、压迫适配或收缩适配的中的至少一个。

13.如权利要求11所述的设计膜，其中所述联锁特征包括：

附着性材料，所述附着性材料设置于所述基底的所述底部表面上。