[发明专利]被配置为确定沉积布置的状态的设备、用于制造太阳能电池的系统、以及用于确定沉积布置的状态的方法在审
| 申请号： | 201780096358.0 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN111295767A | 公开（公告）日： | 2020-06-16 |
| 发明（设计）人： | 吉奥莱·达莱内斯;阿伯特·艾米利奥·拉福;亚历山德罗·帕特索蒂 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 意大利圣比亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种被配置为确定沉积布置(300)的状态的设备(100)。所述设备(100)包括：检查装置(110)，所述检查装置被配置为检测沉积在基板(10)和基板支撑件(20)中的至少一个上的材料的至少一部分(30)；以及处理器(120)，所述处理器被配置为基于所述材料的由所述检查装置(110)检测到的所述部分(30)来确定沉积布置(300)的状态。 | ||
| 搜索关键词： | 配置 确定 沉积 布置 状态 设备 用于 制造 太阳能电池 系统 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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