[发明专利]被配置为确定沉积布置的状态的设备、用于制造太阳能电池的系统、以及用于确定沉积布置的状态的方法在审
申请号: | 201780096358.0 | 申请日: | 2017-10-27 |
公开(公告)号: | CN111295767A | 公开(公告)日: | 2020-06-16 |
发明(设计)人: | 吉奥莱·达莱内斯;阿伯特·艾米利奥·拉福;亚历山德罗·帕特索蒂 | 申请(专利权)人: | 应用材料意大利有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 意大利圣比亚*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 配置 确定 沉积 布置 状态 设备 用于 制造 太阳能电池 系统 以及 方法 | ||
提供了一种被配置为确定沉积布置(300)的状态的设备(100)。所述设备(100)包括:检查装置(110),所述检查装置被配置为检测沉积在基板(10)和基板支撑件(20)中的至少一个上的材料的至少一部分(30);以及处理器(120),所述处理器被配置为基于所述材料的由所述检查装置(110)检测到的所述部分(30)来确定沉积布置(300)的状态。
技术领域
本公开的实施方式涉及一种被配置为确定沉积布置的状态的设备、一种用于制造太阳能电池的系统、以及一种用于确定沉积布置的状态的方法。本公开的实施方式特别地涉及用于预测沉积布置(诸如丝网印刷工艺中使用的丝网)的故障的设备、系统和方法。
背景技术
太阳能电池是直接地将太阳光转换成电力的光伏(PV)器件。在这个领域内,已知的是,使用沉积技术(诸如丝网印刷)在基板(诸如晶体硅基部)上生产太阳能电池,从而在太阳能电池的一个或多个表面上实现导电线路图案结构。如果例如丝网被撕裂或破裂,则糊剂可能污染生产工具和基板(电池)中的至少一个。工具必须被清洁,从而导致工具的停机时间增加。此外,当丝网被撕裂或破裂时,就会浪费大量糊剂。
鉴于以上内容,克服本领域的问题中的至少一些的新的设备、系统和方法是有益的。本公开特别地旨在提供一种可减少太阳能电池生产工具的停机时间和/或节省沉积材料(诸如糊剂)的设备、系统和方法。
发明内容
鉴于以上内容,提供了一种被配置为确定沉积布置的状态的设备、一种用于制造太阳能电池的系统、以及一种用于确定沉积布置的状态的方法。本公开的另外的方面、益处和特征将从权利要求书、说明书和附图显而易见。
根据本公开的一方面,提供了一种用于确定沉积布置的状态的设备。所述设备包括:检查装置,所述检查装置被配置为检测沉积在基板和基板支撑件中的至少一个上的材料的至少一部分;以及处理器,所述处理器被配置为基于所述材料的由所述检查装置检测到的所述部分来确定所述沉积布置的状态。
根据本公开的另一方面,提供了一种用于确定沉积布置的状态的设备。所述设备包括:检查装置,所述检查装置被配置为检测基板和基板支撑件中的至少一个上的污渍;以及处理器,所述处理器被配置为如果污渍由所述检查装置检测到,则预测所述沉积布置的故障。
根据本公开的另一方面,提供了一种用于制造太阳能电池的系统。所述系统包括:沉积布置,所述沉积布置被配置为在基板上沉积材料;以及根据本公开的被配置为确定沉积布置的状态的设备。
根据本公开的又一方面,提供了一种用于确定沉积布置的状态的方法。所述方法包括:检测沉积在基板和基板支撑件中的至少一个上的材料的至少一部分;以及基于所述材料的由所述检查装置检测到的所述部分来确定沉积布置的状态。
根据本公开的另一方面,提供了一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质包括用于实现用于确定沉积布置的状态的方法的计算机可执行指令。
实施方式还针对用于实施所公开的方法的设备并包括用于执行每个所描述的方法方面的设备部分。这些方法方面可以借助硬件部件、由适当的软件编程的计算机、这两者的任何组合或以任何其他方式执行。此外,根据本公开的实施方式还针对用于操作所描述的设备的方法。用于操作所描述的设备的方法包括用于实施设备的每一功能的方法方面。
附图说明
为了能够详细地理解本公开的上述特征的方式,可以参考实施方式来提供以上简要地概述的本公开的更特定的描述。附图涉及本公开的实施方式并描述如下:
图1示出了根据本文所描述的实施方式的被配置为确定沉积布置的状态的设备的示意图;
图2示出了根据本文所描述的实施方式的具有线路图案的太阳能电池;
图3A示出了根据本文所述实施方式的丝网印刷设备的示意图;
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