[发明专利]带电粒子线装置有效
| 申请号： | 201780094118.7 | 申请日： | 2017-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111033677B | 公开（公告）日： | 2022-08-23 |
| 发明（设计）人： | 平野辽;野间口恒典;神谷知里;片根纯一 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/141 | 分类号： | H01J37/141;H01J37/28;H01J37/317 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供能够有效减少实施SEM观察时的残留磁场的作用的带电粒子线装置。本发明涉及的带电粒子线装置实施将第1线圈截止后在第2线圈流过直流电流的第1模式和将所述第1线圈截止后在所述第2线圈流过交流电流的第2模式中的至少任一种模式。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子 线装 | ||
【主权项】：
暂无信息
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