[发明专利]活性气体生成装置有效
申请号: | 201780093717.7 | 申请日: | 2017-09-06 |
公开(公告)号: | CN111052873B | 公开(公告)日: | 2022-10-28 |
发明(设计)人: | 有田廉;渡边谦资;西村真一 | 申请(专利权)人: | 东芝三菱电机产业系统株式会社 |
主分类号: | H05H1/24 | 分类号: | H05H1/24;B01J19/08 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人: | 徐殿军 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的目的是提供一种抑制异常放电的发生的活性气体生成装置的构造。并且,在本发明的活性气体生成装置中,供电体(23)设在高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的上方,具有在俯视时将高电压侧电极构成部(1)的金属电极(10A及10B)的整体覆盖的形状。供电部(33A及33B)分别设在接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的下方,具有在俯视时将接地侧电极构成部(2)的金属电极(20A及20B)的整体覆盖的形状。 | ||
搜索关键词: | 活性 气体 生成 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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