[发明专利]活性气体生成装置

权利要求书

1.一种活性气体生成装置，生成将供给到放电空间中的原料气体活化而得到的活性气体，其特征在于，

具备：

第1电极构成部；

第2电极构成部，设在上述第1电极构成部的下方；以及

交流电源部，向上述第1及第2电极构成部施加交流电压，以使上述第1电极构成部成为高电压；

通过由上述交流电源部进行的上述交流电压的施加，从设在上述第2电极构成部的气体喷出口喷出将供给到形成在上述第1及第2电极构成部间的放电空间中的原料气体活化而得到的活性气体；

上述第1电极构成部具有第1电介质电极和选择性地形成在上述第1电介质电极的上表面上的第1金属电极，上述第2电极构成部具有第2电介质电极和选择性地形成在上述第2电介质电极的下表面上的第2金属电极；

上述活性气体生成装置还具备：

第1供电部，设在上述第1金属电极的上方，向上述第1金属电极传递上述交流电压；以及

第2供电部，设在上述第2金属电极的下方，向上述第2金属电极传递上述交流电压；

上述第2金属电极包括在俯视时夹着上述第2电介质电极的中央区域相互对置而形成的一对第2部分金属电极；

上述第1金属电极包括具有在俯视时与上述一对第2部分金属电极重叠的区域的一对第1部分金属电极；

上述第1供电部具有在俯视时将上述第1金属电极的整体覆盖的形状；

上述第1供电部具有选择性地向下方突出而设置的第1突出部及第2突出部，上述第1突出部的下表面与上述一对第1部分金属电极中的一个的上表面接触，上述第2突出部的下表面与上述一对第1部分金属电极中的另一个的上表面接触。

2.如权利要求1所述的活性气体生成装置，其特征在于，

上述第2供电部具有在俯视时将上述第2金属电极的整体覆盖的形状。

3.如权利要求1或2所述的活性气体生成装置，其特征在于，

还具备：

第1电介质膜，以将上述第1金属电极的端部全部覆盖的方式形成在上述第1电介质电极的上表面上；以及

第2电介质膜，以将上述第2金属电极的端部全部覆盖的方式形成在上述第2电介质电极的下表面上。

4.如权利要求3所述的活性气体生成装置，其特征在于，

上述第1电介质膜包括以将上述一对第1部分金属电极各自的端部全部覆盖的方式形成在上述第1电介质电极的上表面上的一对第1部分电介质膜；

上述第2电介质膜包括以将上述一对第2部分金属电极各自的端部全部覆盖的方式形成在上述第2电介质电极的下表面上的一对第2部分电介质膜；

上述气体喷出口被形成在上述中央区域。