[发明专利]研磨液和研磨方法有效
| 申请号： | 201780093690.1 | 申请日： | 2017-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN110997856B | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 大塚祐哉;岩野友洋 | 申请（专利权）人： | 昭和电工材料株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;H01L21/3105;H01L21/321 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 杜娟 |
| 地址： | 日本国东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种研磨液，其含有磨粒、分子量为210以上的膦酸化合物以及选自氨基酸和氨基酸衍生物中的至少一种，所述磨粒的硅烷醇基密度在6.5个/nm |
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| 搜索关键词： | 研磨 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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