[发明专利]液面计、具备该液面计的气化器以及液面检测方法有效
申请号: | 201780080827.X | 申请日: | 2017-12-22 |
公开(公告)号: | CN110178002B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 日高敦志;中谷贵纪;山下哲;杉田胜幸;平田薰;永濑正明;西野功二;池田信一 | 申请(专利权)人: | 株式会社富士金 |
主分类号: | G01F23/22 | 分类号: | G01F23/22;B01J4/00;C23C16/448;G05D9/12;H01L21/205;H01L21/31 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 刘春成;刘春燕 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种液面计(20),具备:测温电阻体(R11);位于其上方的温度测定体(R12);检测测温电阻体以及温度测定体的温度的温度检测部(27);以测温电阻体和温度测定体成为预定的温度差的方式,确定流动于测温电阻体的电流值的电流控制部(28);使确定的电流值的电流流动于测温电阻体的电源部(22);以及检测液面的位置的液面检测部(29),液面检测部通过流动于测温电阻体的电流值的预定的一定期间的变化幅度的正负、和变化幅度是否为预定的值以上,从而检测液面相对于测温电阻体的相对位置的变化。由此,能够高精度地检测液面的位置,而不会受到测温电阻体的特性偏差的影响。 | ||
搜索关键词: | 液面 具备 气化 以及 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种液面计,具有:第一测温电阻体;温度测定体,所述温度测定体配置在比配置所述第一测温电阻体的位置高的位置;以及控制部,所述控制部利用所述温度测定体以及所述第一测温电阻体来检测液面的位置,其特征在于,所述控制部在流动于所述第一测温电阻体的电流值在预定的一定时间内变化了预定的一定值以上时,检测到所述液面的位置从比配置所述第一测温电阻体的位置高的位置变化至比配置所述第一测温电阻体的位置低的位置;或者检测到所述液面的位置从比配置所述第一测温电阻体的位置低的位置变化至比配置所述第一测温电阻体的位置高的位置。
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