[发明专利]弹性波器件在审
| 申请号： | 201780080515.9 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN110114974A | 公开（公告）日： | 2019-08-09 |
| 发明（设计）人： | 门田道雄;田中秀治 | 申请（专利权）人： | 国立大学法人东北大学 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/145 |
| 代理公司： | 北京市正见永申律师事务所 11497 | 代理人： | 黄小临 |
| 地址： | 日本宮城*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种TCF良好，能够提高谐振器的Q、阻抗比的弹性波器件。该弹性波器件包括：含有70质量％以上的二氧化硅(SiO2)的基板11、由设置于基板11之上的LiTaO3晶体或LiNbO3晶体形成的压电薄膜12以及被设置为与压电薄膜12相接的叉指状电极13。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性波器件 压电薄膜 基板 叉指状电极 二氧化硅 晶体形成 谐振器 阻抗比 | ||
【主权项】：
1.一种利用弹性表面波的弹性波器件，其特征在于，所述弹性波器件包括：基板，包含70质量％以上的二氧化硅(SiO2)；压电薄膜，由LiTaO3晶体或LiNbO3晶体形成，设置于所述基板之上；以及叉指状电极，被设置为与所述压电薄膜相接触。
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