[发明专利]波导装置和掺杂波导装置的方法有效
申请号: | 201780074837.2 | 申请日: | 2017-12-01 |
公开(公告)号: | CN110291450B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
发明(设计)人: | D.莱罗塞;H.阿贝戴斯尔;A.S.纳格拉 | 申请(专利权)人: | 洛克利光子有限公司 |
主分类号: | G02F1/025 | 分类号: | G02F1/025;G02B6/10 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 俞华梁;陈岚 |
地址: | 英国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种波导装置和掺杂波导装置的方法,所述波导装置包括肋形波导区,所述肋形波导区具有:基底,以及从所述基底延伸的脊状物,其中:所述基底包括在所述脊状物的第一侧处的第一平板区,和在所述脊状物的第二侧处的第二平板区;第一掺杂平板区沿着所述第一平板区延伸;第二掺杂平板区沿着所述第二平板区延伸;第一掺杂侧壁区沿着所述脊状物的第一侧壁并且沿着所述第一平板的一部分延伸,所述第一掺杂侧壁区在第一平板界面处与所述第一掺杂平板区接触;并且第二掺杂侧壁区沿着所述脊状物的第二侧壁并且沿着所述第二平板的一部分延伸,所述第二掺杂侧壁区在第二平板界面处与所述第二掺杂平板区接触;并且其中所述脊状物的所述第一侧壁与所述第一平板界面之间的间隔不多于10μm;并且其中所述脊状物的所述第二侧壁与所述第二平板界面之间的间隔不多于10μm。 | ||
搜索关键词: | 波导 装置 掺杂 方法 | ||
【主权项】:
1.一种波导装置,所述波导装置包括肋形波导区,所述肋形波导区具有:基底,以及从所述基底延伸的脊状物,其中:所述基底包括在所述脊状物的第一侧处的第一平板区和在所述脊状物的第二侧处的第二平板区;第一掺杂平板区,所述第一掺杂平板区沿着所述第一平板区延伸;第二掺杂平板区,所述第二掺杂平板区沿着所述第二平板区延伸;第一掺杂侧壁区,所述第一掺杂侧壁区沿着所述脊状物的第一侧壁并且沿着所述第一平板的一部分延伸,所述第一掺杂侧壁区在第一平板界面处与所述第一掺杂平板区接触;以及第二掺杂侧壁区,所述第二掺杂侧壁区沿着所述脊状物的第二侧壁并且沿着所述第二平板的一部分延伸,所述第二掺杂侧壁区在第二平板界面处与所述第二掺杂平板区接触;其中所述脊状物的所述第一侧壁与所述第一平板界面之间的间隔不多于10μm;并且其中所述脊状物的所述第二侧壁与所述第二平板界面之间的间隔不多于10μm。
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