[发明专利]用于带帽MEMS装置的垂直塞子有效
| 申请号： | 201780074019.2 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN110023233B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 邝锦波;G·沃赫拉 | 申请（专利权）人： | 美国亚德诺半导体公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 张小稳 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述带帽微机电系统(MEMS)装置。至少在某些情况下，MEMS装置包括一个或多个移动的质量块。帽可包括阻尼一个或多个可移动质量块的运动的塞子。至少在某些情况下，塞子阻尼质量块之一但不是另一个质量块的运动。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 mems 装置 垂直 塞子 | ||
【主权项】：
1.一种操作密封在帽中的微机电系统(MEMS)装置的方法，该帽包括塞子，该方法包括：在具有模式形状的第一平面内模式下振荡MEMS装置的可移动检测质量块，其中所述塞子定形为覆盖所述模式形状的外围和/或所述可移动检测质量块的内部边缘；和使用所述塞子在第一模式下阻尼所述可移动检测质量块的运动。
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