[发明专利]快动遮蔽运动式双轴可变宽度的质量解析孔径有效
| 申请号： | 201780072334.1 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN109997210B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 迈克尔·保罗·克里斯托福罗;贾斯汀·怀特·麦凯布 | 申请（专利权）人： | 艾克塞利斯科技公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/15;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 刘新宇;寿宁 |
| 地址： | 美国马萨诸*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于离子注入系统的解析孔径组件，其具有第一板片和第二板片，其中第一板片和第二板片大体上在其间限定解析孔径。第一板片相对于第二板片的位置大体上限定解析孔径的宽度。一个或多个致动器可操作地耦接到第一板片和第二板片中一个或多个板片并且配置成选择性更改第一板片与第二板片的彼此相对位置，因此选择性更改解析孔径的宽度。伺服电机精确地更改解析孔径的宽度，而气动缸独立地选择性关闭解析孔径。下游位置的致动器沿离子束的路径更改解析孔径的位置，而控制器基于离子束的期望属性来控制一个或多个致动器。 | ||
| 搜索关键词： | 遮蔽 运动 式双轴 可变 宽度 质量 解析 孔径 | ||
【主权项】：
暂无信息
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