[发明专利]半导体加工用粘合片有效
申请号: | 201780070366.8 | 申请日: | 2017-10-03 |
公开(公告)号: | CN109937245B | 公开(公告)日: | 2022-01-18 |
发明(设计)人: | 垣内康彦;小升雄一朗 | 申请(专利权)人: | 琳得科株式会社 |
主分类号: | C09J7/29 | 分类号: | C09J7/29;C09J11/06;C09J133/08;C09J133/14 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王利波 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明的半导体加工用粘合片依次具有基材、中间层及粘合剂层,其中,所述中间层是由中间层形成用组合物形成的层,并且所述粘合剂层为能量线固化性,所述中间层形成用组合物含有非能量线固化性的丙烯酸类聚合物(A)和重均分子量为5万~25万的能量线固化性的丙烯酸类聚合物(B),能量线固化后的中间层和粘合剂层在23℃下的弹性模量差为20MPa以下。 | ||
搜索关键词: | 半导体 工用 粘合 | ||
【主权项】:
1.一种半导体加工用粘合片,其依次具有基材、中间层及粘合剂层,其中,所述中间层是由中间层形成用组合物形成的层,并且所述粘合剂层为能量线固化性,所述中间层形成用组合物含有非能量线固化性的丙烯酸类聚合物(A)和重均分子量为5万~25万的能量线固化性的丙烯酸类聚合物(B),能量线固化后的中间层和粘合剂层在23℃下的弹性模量差为20MPa以下。
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