[发明专利]MEMS致动系统和方法有效
| 申请号： | 201780068608.X | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN110582828B | 公开（公告）日： | 2022-05-06 |
| 发明（设计）人： | 刘晓蕾;M·伍;王桂芹;G·莫拉比托 | 申请（专利权）人： | 麦斯卓有限公司 |
| 主分类号： | H01H51/22 | 分类号： | H01H51/22 |
| 代理公司： | 北京高文律师事务所 11359 | 代理人： | 王冬;赵锐 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。 | ||
| 搜索关键词： | mems 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种微机电系统(MEMS)悬臂组件，包括：/n中间悬臂部分；/n主悬臂，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分；和/n多个中间连杆，配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分。/n
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