[发明专利]MEMS致动系统和方法

说明书

微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。

相关案件

本申请要求以下美国临时申请的权益：2016年9月12日提交的第62/393,436号、2016年9月12日提交的第62/393,419号、2016年11月8日提交的第62/419,117号、2016年11月9日提交的第62/419,814号以及2016年11月11日提交的第62/420,960号；它们的内容通过引用并入本申请。

技术领域

本公开通常涉及致动器，更具体地，涉及配置用于相机封装内的小型化MEMS致动器。

背景技术

如本领域所公知的，致动器可用于将电子信号转换成机械运动。在诸如便携式设备、成像相关设备、电信组件和医疗仪器的许多应用中，对于微型致动器来说适配在小尺寸、低功率和成本有限的这些应用内可能是有益的。

微机电系统(MEMS)技术在其最一般的形式中可以定义为使用微加工技术制造的小型化机械和机电元件的技术。MEMS器件的关键尺寸可以从远低于1微米到几毫米变化。通常，MEMS致动器比传统致动器更紧凑，并且它们消耗更少的功率。

发明内容

发明#2

在一个实施方式中，微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆。

以下特征可以包括其中一个或多个。主悬臂可包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。平面跨接结构可以配置为将中间悬臂部分的上表面连接到多个中间连杆的上表面。

在另一个实施方式中，微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分，配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂，以及配置为将中间悬臂部分连接至微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆，其中所述多个中间连杆包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。主悬臂包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。

以下特征可以包括其中一个或多个。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。平面跨接结构可以配置为将中间悬臂部分的上表面连接到多个中间连杆的上表面。

在另一实施方式中，微机电系统(MEMS)悬臂组件包括中间悬臂部分、配置为连接微机电系统(MEMS)的可移动部分和中间悬臂部分的主悬臂、配置为连接中间悬臂部分和微机电系统(MEMS)的一部分的多个中间连杆，以及配置为将中间悬臂部分的上表面连接到所述多个中间连杆的上表面的平面跨接结构。主悬臂包括连接到微机电系统(MEMS)的可移动部分的第一远端和连接到中间悬臂部分的第二远端。

以下特征可以包括其中一个或多个。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的两个中间连杆。两个中间连杆可以配置成基本垂直于主悬臂。多个中间连杆可包括配置为与主悬臂不平行的四个中间连杆。多个中间连杆可以配置为吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。多个中间连杆可以配置为扭转以吸收微机电系统(MEMS)的可移动部分的平面外运动。