[发明专利]用于将物体移入和/或移出壳体的设备有效
| 申请号： | 201780065375.8 | 申请日： | 2017-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109891323B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | M·C·P·范贝克尔;G·范欧恩 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于将物体(300)移入和/或移出壳体的设备(900)，例如用于掩模的支撑结构从光刻设备的壳体中移出。该设备包括第一引导机构(400)，沿第一方向能够移动并且可旋转地连接到所述物体的第一部分；以及第二引导机构(500)，沿第二方向能够移动并且可旋转地连接到所述物体的第二部分，其中所述第二部分与所述第一部分不同，并且所述第二方向与所述第一方向不同。可旋转连接限定围绕轴线的旋转，该轴线在第三方向上延伸，该第三方向基本垂直于第一方向和第二方向。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 物体 移入 移出 壳体 设备 | ||
【主权项】：
1.一种用于将物体移入和/或移出壳体的设备，所述设备包括：‑第一引导机构，沿第一方向能够移动并且可旋转地连接到所述物体的第一部分；‑第二引导机构，沿第二方向能够移动并且可旋转地连接到所述物体的第二部分，其中所述第二部分与所述第一部分不同，并且所述第二方向与所述第一方向不同；其中所述可旋转连接限定围绕轴线的旋转，所述轴线沿第三方向延伸，所述第三方向基本垂直于所述第一方向和所述第二方向。
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