[发明专利]用于制造光学传感器装置的方法和用于光学传感器的外壳有效

专利信息
申请号: 201780064811.X 申请日: 2017-10-19
公开(公告)号: CN109923669B 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 索尼娅·柯尼希;伯恩哈德·斯特林;哈拉尔德·埃齐梅尔 申请(专利权)人: AMS有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 奥地利普*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了用于制造光学传感器装置(10)的方法。该方法包括:在载体(12)上设置至少两个光学传感器(11),并在光学传感器(11)的背离载体(12)的一侧上设置覆盖材料(14)。该方法还包括:在覆盖材料(14)的背离载体(12)的顶侧(15)上为每个光学传感器(11)设置孔(13),并在光学传感器(11)之间从载体(12)到覆盖材料(14)的顶侧(15)形成至少一个沟槽(16),其中该沟槽(16)包括内壁(18)。另外,该方法包括:用不透明材料(19)涂覆内壁(18),使得沟槽(16)的内部空间(20)不含不透明材料(19),并且沿着至少一个沟槽(16)分离光学传感器装置(10)。另外提供了用于光学传感器的外壳。
搜索关键词: 用于 制造 光学 传感器 装置 方法 外壳
【主权项】:
1.一种用于制造光学传感器装置(10)的方法,该方法包括:‑在载体(12)上设置至少两个光学传感器(11),‑在光学传感器(11)的背离所述载体(12)的一侧上设置覆盖材料(14),‑在所述覆盖材料(14)的背离所述载体(12)的顶侧(15)上为每个光学传感器(11)设置孔(13),‑在光学传感器(11)之间从所述载体(12)朝向所述覆盖材料(14)的顶侧(15)形成至少一个沟槽(16),所述沟槽(16)包括内壁(18),‑用不透明材料(19)涂覆所述内壁(18),使得所述沟槽(16)的内部空间(20)不含所述不透明材料(19),以及‑沿着所述至少一个沟槽(16)分离光学传感器装置(10)。
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