[发明专利]用于制造光学传感器装置的方法和用于光学传感器的外壳有效

专利信息
申请号: 201780064811.X 申请日: 2017-10-19
公开(公告)号: CN109923669B 公开(公告)日: 2023-08-18
发明(设计)人: 索尼娅·柯尼希;伯恩哈德·斯特林;哈拉尔德·埃齐梅尔 申请(专利权)人: AMS有限公司
主分类号: H01L27/146 分类号: H01L27/146
代理公司: 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 代理人: 谢攀;刘继富
地址: 奥地利普*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 用于 制造 光学 传感器 装置 方法 外壳
【权利要求书】:

1.一种用于制造光学传感器装置(10)的方法,该方法包括:

-在载体(12)上设置至少两个光学传感器(11),

-在光学传感器(11)的背离所述载体(12)的一侧上设置覆盖材料(14),

-通过在所述覆盖材料(14)的背离所述载体(12)的顶侧(15)上的不透明的孔层(30)来为每个光学传感器(11)设置孔(13),

-在所述不透明的孔层(30)的背离所述载体(12)的顶侧上设置透明的覆盖层(31),

-在光学传感器(11)之间通过从所述载体(12)侧朝向所述覆盖材料(14)的顶侧(15)切割所述载体(12)和所述覆盖材料(14)并且至少使所述透明的覆盖层(31)不被切割来形成至少一个沟槽(16),所述沟槽(16)包括内壁(18),

-用不透明材料(19)涂覆所述内壁(18),使得所述沟槽(16)的内部空间(20)不含所述不透明材料(19),以及

-沿着所述至少一个沟槽(16)分离光学传感器装置(10)。

2.根据权利要求1所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,每个光学传感器(11)包括至少一个电触点(23),其中,在沿着所述沟槽(16)分离之前,所述电触点(23)至少部分不含任何隔离材料。

3.根据权利要求2所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,所述电触点(23)布置在所述载体(12)的背离孔(13)的底侧(22)处。

4.根据权利要求2所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,在对所述沟槽(16)进行涂覆期间,所述电触点(23)由第一保护膜(32)保护。

5.根据权利要求3所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,在对所述沟槽(16)进行涂覆期间,所述电触点(23)由第一保护膜(32)保护。

6.根据权利要求4所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,在对沟槽(16)进行涂覆后,去除所述第一保护膜(32)。

7.根据权利要求5所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,在对沟槽(16)进行涂覆后,去除所述第一保护膜(32)。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,用所述不透明材料(19)对所述沟槽(16)进行涂覆包括喷涂或物理气相沉积。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,所述沟槽(16)包括底部表面(33),该底部表面(33)涂覆有所述不透明材料(19)。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,所述沟槽(16)的内壁(18)处的不透明材料(19)的厚度小于100μm。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,在每个光学传感器(11)和对应的孔(13)之间布置有透镜(26)。

12.根据权利要求1至7中任一项所述的用于制造光学传感器装置(10)的方法,其中,所述光学传感器(11)各自包括互补金属氧化物半导体图像传感器。

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