[发明专利]用于处理腔室清洁终点检测的方法和设备

摘要

实施方式提供用于检测在处理腔室内执行的清洁工艺的清洁终点的系统、方法和设备。实施方式包括光谱仪和透镜系统，光谱仪用于测量在清洁工艺期间处理腔室中的清洁反应的随时间变化的光谱响应，透镜系统与光谱仪耦接并且被设置以经由观察口聚焦于处理腔室中的选定区域，并放大在清洁工艺期间来自选定区域的辐射强度。选定区域是基于被预测为在处理腔室(例如是在长方形腔室中的角落)中的清洁工艺期间最后的清洁反应的位置而选择的。提供数种其他方面。

主权项

1.一种用于检测清洁工艺的清洁终点的设备，所述清洁工艺在处理腔室内实施，所述设备包括：光谱仪，适用于测量在清洁工艺期间处理腔室中的清洁反应的随时间变化的光谱响应；和透镜系统，与所述光谱仪耦接，所述透镜系统被设置以经由观察口聚焦于在所述处理腔室中的选定区域上，并且增强来自在所述清洁工艺期间所述选定区域内的清洁反应的辐射强度，其中，所述选定区域是基于被预测为在所述处理腔室中的所述清洁工艺期间最后的清洁反应的位置而选择的。