[发明专利]机器人、机器人的控制装置、及机器人的位置教示方法有效
申请号: | 201780058115.8 | 申请日: | 2017-09-26 |
公开(公告)号: | CN109716500B | 公开(公告)日: | 2023-05-05 |
发明(设计)人: | 后藤博彦;吉田哲也;丹治彦;藤森一夫;山下雄大;住友雅彦 | 申请(专利权)人: | 川崎重工业株式会社 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;B25J9/22;B25J13/08;G05B19/42 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲 |
地址: | 日本兵库*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 一种机器人的控制装置,具备:影像数据获取部,其获取藉由相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及手的基板载置部的影像数据;虚拟基板信息生成部,其在影像数据中生成手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息;操作部,其藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息;画面显示部,其将教示用基板及虚拟基板的影像显示于画面;机器人动作控制部,其按照操作信息,控制机器臂的动作;及教示数据记录部,其将虚拟基板与教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。 | ||
搜索关键词: | 机器人 控制 装置 位置 方法 | ||
【主权项】:
1.一种机器人,其特征在于,是将基板搬运至应载置基板的基板的目标位置的机器人;具备:机器臂;安装于所述机器臂的梢端的手;相机,所述相机以拍摄所述手的载置基板的基板载置部的形式固定安装于该基板载置部以外的部分;影像数据获取部,所述影像数据获取部获取藉由所述相机拍摄的配置于成为教示对象的基板的目标位置的教示用基板及所述手的基板载置部的影像数据;虚拟基板信息生成部,所述虚拟基板信息生成部在所述影像数据中生成所述手的基板载置部上假设性地配置的虚拟基板的信息;藉由被操作而生成与该操作对应的操作信息的操作部;将所述教示用基板及所述虚拟基板的影像显示于画面的画面显示部;按照所述操作部生成的操作信息,控制所述机器臂的动作的机器人动作控制部;及教示数据记录部,所述教示数据记录部将所述虚拟基板与所述教示用基板一致时的手的位置作为教示数据储存。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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