[发明专利]基板检查装置有效
| 申请号： | 201780057525.0 | 申请日： | 2017-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN109716147B | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 山田浩史;藤原润 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够防止发生结露的基板检查装置。晶圆检查装置(10)具备：弹簧框(22)，其保持探针卡(18)；卡盘顶部(20)，其与探针卡(18)相向且载置晶圆(W)；以及干燥气体室(38)，其与用于配置弹簧框(22)、卡盘顶部(20)的检查室(11)分开设置，所述晶圆检查装置(10)使卡盘顶部(20)接近弹簧框(22)来使晶圆(W)与探针卡(18)接触，并且在弹簧框(22)与卡盘顶部(20)之间形成密闭空间(S)，通过将密闭空间(S)减压来维持探针卡(18)与晶圆W的接触状态，通过气体导入管(29)来将干燥气体室(38)的内部空间的干燥气体导入密闭空间(S)，由此使晶圆(W)从探针卡(18)脱离。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 | ||
【主权项】：
1.一种基板检查装置，其特征在于，具备：保持构件，其保持探针卡；板状的卡盘，其与所述探针卡相向且载置所述基板；以及检查室，其用于配置所述保持构件和所述卡盘，所述基板检查装置使所述卡盘接近所述保持构件来使所述基板与所述探针卡接触，并且在所述保持构件与所述卡盘之间形成密闭空间，通过将所述密闭空间减压来维持所述探针卡与所述基板的接触状态，所述基板检查装置还具备气体导入路径，所述气体导入路径用于将与所述检查室分开设置且被分隔出的空间的气体导入所述密闭空间，在所述被分隔出的空间中填充干燥气体。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780057525.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：电流传感器以及电流传感器单元
- 下一篇：可见激光电路故障隔离
