[发明专利]基板检查装置

权利要求书

1.一种基板检查装置，其特征在于，

具备：保持构件，其保持探针卡；板状的卡盘，其与所述探针卡相向且载置所述基板；以及检查室，其用于配置所述保持构件和所述卡盘，所述基板检查装置使所述卡盘接近所述保持构件来使所述基板与所述探针卡接触，并且在所述保持构件与所述卡盘之间形成密闭空间，通过将所述密闭空间减压来维持所述探针卡与所述基板的接触状态，

所述基板检查装置还具备气体导入路径，所述气体导入路径用于将与所述检查室分开设置且被分隔出的空间的气体导入所述密闭空间，

在所述被分隔出的空间中填充干燥气体。

2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述气体导入路径由不透湿材料构成。

3.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述气体导入路径具有至少一个接头，所述接头由金属构成。

4.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述被分隔出的空间中总是填充干燥气体。

5.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述气体导入路径经由所述保持构件向所述密闭空间导入所述干燥气体。

6.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述气体导入路径分支后与减压泵连接。

7.根据权利要求1或2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述干燥气体包括干燥空气。