[发明专利]化学机械平坦化浆料及其形成方法在审
| 申请号： | 201780056425.6 | 申请日： | 2017-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN109715751A | 公开（公告）日： | 2019-05-03 |
| 发明（设计）人： | I·T·锡尼什;A·奎朋;C·L·马尔德;D·E·沃德;V·勒鲁 | 申请（专利权）人： | 圣戈本陶瓷及塑料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 | 代理人： | 徐舒 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种CMP浆料，所述CMP浆料包括：载体；在所述载体内的微粒材料，其包括氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、金刚石或其任何组合；氧化剂，其包括选自过氧化物、过硫酸盐、高锰酸盐、高碘酸盐、高氯酸盐、次氯酸盐、碘酸盐、过氧单硫酸盐、硝酸铈铵、高碘酸、铁氰化物或其任何组合的组的至少一种材料；并且根据标准化抛光测试，材料去除率指数(MRR)为至少500纳米/小时且平均粗糙度指数(Ra)不大于5埃。 | ||
| 搜索关键词： | 化学机械平坦化 氧化剂 材料去除率 平均粗糙度 金刚石 次氯酸盐 单硫酸盐 高碘酸盐 高氯酸盐 高锰酸盐 过硫酸盐 过氧化物 铁氰化物 微粒材料 硝酸铈铵 抛光 氮化物 碘酸盐 高碘酸 硼化物 碳化物 氧化物 浆料 标准化 体内 测试 | ||
【主权项】：
1.一种CMP浆料，其包含：载体；在所述载体内的微粒材料，其包含氧化物、碳化物、氮化物、硼化物、金刚石或其任何组合；氧化剂，其包含选自过氧化物、过硫酸盐、高锰酸盐、高碘酸盐、高氯酸盐、次氯酸盐、碘酸盐、过氧单硫酸盐、硝酸铈铵、高碘酸、铁氰化物或其任何组合的组的至少一种材料；并且根据标准化抛光测试，材料去除率指数(MRR)为至少500纳米/小时且平均粗糙度指数(Ra)不大于5埃。
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