[发明专利]形成具有微锯齿的高纯度熔凝二氧化硅玻璃片的激光系统和方法在审
| 申请号： | 201780050627.X | 申请日： | 2017-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN109661379A | 公开（公告）日： | 2019-04-19 |
| 发明（设计）人： | V·A·巴加瓦图拉;D·W·霍托夫;李兴华;G·E·莫兹;J·斯通三世 | 申请（专利权）人： | 康宁股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03C3/06 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 张璐;项丹 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种烧结厚度为500μm或更小的薄的高纯度熔凝二氧化硅玻璃片的系统和方法，包括在高纯度熔凝二氧化硅烟炱片上使激光束光栅化的步骤；其中，光栅化的图案包括在片材上的紧密间隔的目标位置，以在横截面上观察时，激光对烟炱进行烧结并同时在片材的第一主表面上形成小凹口，其中所述小凹口为锯齿状，使得至少一些凹口具有一般为平坦的底表面且至少一些相应的相邻冠状物具有一般为平台的顶表面，所述顶表面通过成陡峭角度的侧壁与底表面偏离。 | ||
| 搜索关键词： | 熔凝二氧化硅 高纯度 烧结 玻璃片 顶表面 光栅化 小凹口 片材 烟炱 锯齿 激光系统 目标位置 冠状物 激光束 锯齿状 主表面 凹口 侧壁 陡峭 激光 偏离 平坦 图案 观察 | ||
【主权项】：
1.一种高纯度熔凝二氧化硅玻璃片，包含：第一主表面；与第一主表面相对的第二主表面；至少99.9摩尔％的二氧化硅，其中该二氧化硅至少一般是无定形的，从而具有小于1重量％的结晶含量；以及在第一主表面与第二主表面之间的小于500μm的平均厚度；其中，在横截面中，第一主表面具有沿着第一主表面的小凹口，其中，至少十个小凹口具有：至少25nm但不超过1μm的深度，该深度相对于相应凹口的任一侧上的相邻局部冠状物中的较高者来测量，在相邻的局部冠状物之间的至少5μm的宽度，和至少500μm的长度。
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- D·W·霍托夫 - 康宁股份有限公司
- 2010-07-15 - 2012-05-23 - C03B19/14
- 使用辊到辊玻璃烟炱沉积和烧结法形成玻璃片。玻璃片形成包括在烟炱接受器件(120)的沉积表面(122)上形成第一玻璃烟炱层(152)，将第一玻璃烟炱层(152)从沉积表面(122)取下，在所述未支承的第一玻璃烟炱层上形成第二玻璃烟炱层(162)。对制得的复合玻璃烟炱片进行加热以形成烧结玻璃片(156)。所述玻璃片可以是基本均一的玻璃片，或者是具有层特有的性质的复合玻璃片。
- 含TiO2的石英玻璃和使用该石英玻璃的EUV光刻用光学部件-200980106891.6
- 小池章夫;岩桥康臣;菊川信也;桔优子 - 旭硝子株式会社
- 2009-02-27 - 2011-01-26 - C03B19/14
- 本发明提供了一种TiO2-SiO2玻璃，其中当用作EUVL用曝光工具的光学部件时，在使用高EUV能量的光辐照时热膨胀系数基本为零，并且通过从玻璃中释出氢能够长时间保持多层的物理性能。本发明涉及一种含TiO2的石英玻璃，所述石英玻璃的假想温度为1100℃以下，氢分子浓度为1×1016分子/cm3以上，并且线性热膨胀系数为0ppb/℃时的温度处于40至110℃的范围内。
- 光纤用母材的制造方法-201010143250.2
- 吉田真 - 信越化学工业株式会社
- 2010-03-02 - 2010-09-22 - C03B19/14
- 一种光纤用母材的制造方法，包括如下阶段：使用如下燃烧器，在由助燃性气体及可燃性气体产生的火焰中，将玻璃原料气体水解而生成玻璃微粒，所述燃烧器具备：中心气体喷口；多个小口径气体喷口，配置在中心气体喷口的外侧，喷出含有助燃性气体的气体；可燃性气体喷口，配置在中心气体喷口的外侧，喷出可燃性气体；以及助燃性气体喷口，配置在可燃性气体喷口的外侧，喷出助燃性气体；且，当将中心气体喷口的气体流速设为V1，小口径气体喷口的气体流速设为V2，可燃性气体喷口的气体流速设为V3，助燃性气体喷口的气体流速设为V4时，满足V1＞V2＞V3＞V4。
- OH、OD含量低的熔凝氧化硅及其制备方法-200880108221.3
- R·R·赫拉帕孔;N·勒布隆;J·E·廷戈尔 - 康宁股份有限公司
- 2008-07-18 - 2010-08-11 - C03B19/14
- 一种熔凝氧化硅制品，其中羟基(OH)和氘氧基(OD)的合并浓度小于10ppm，在一个实施方式中小于1ppm。所述熔凝氧化硅制品通过在含一氧化碳的无卤素气氛中干燥烟炱坯体形成。干燥烟炱坯体可任选掺杂，使熔凝氧化硅制品中的OH和OD浓度达到目标水平，并改善均匀性。然后，氧化和烧结所述干燥烟炱坯体，形成制品。本发明还描述了将OH和OD的合并浓度降至小于10ppm的方法。
- 处理玻璃衬底表面的方法-200880019204.2
- 冈村研治;伊藤正文 - 旭硝子株式会社
- 2008-05-21 - 2010-03-24 - C03B19/14
- 本发明是提供处理整个玻璃衬底表面以使得表面具有优异的平坦度和表面粗糙度的方法。本发明提供使用处理技术来处理玻璃衬底表面的方法，所述处理技术选自离子束腐蚀、气体簇离子束腐蚀、等离子体腐蚀和纳米磨蚀，其中在对所述玻璃衬底表面进行处理之前，沿所述玻璃衬底的周围设置框架部件，所述框架部件满足下列(1)和(2)：(1)所述框架部件的高度和所述玻璃衬底表面的高度之差为1mm以下；以及(2)所述框架部件的宽度不小于在所述处理技术中使用的离子束直径或激光直径的一半。
- 专利分类
