“C·A·杜兰”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]通过组成变化具有T_zc梯度的低膨胀氧化硅-氧化钛制品-CN201580006616.2有效
发明人： W·R·安格尔四世;S·安纳马莱;C·A·杜兰;J·E·马克森 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2015-01-29 - 公布日： 2019-08-30 - 主分类号： C03C3/06 文献下载
摘要：提供了用于极紫外光刻(EUVL)的玻璃制品。玻璃制品包括氧化硅‑氧化钛玻璃，其具有贯穿玻璃制品的组成梯度，组成梯度由如下函数定义：[TiO₂]＝(c+f(x,y,z))以及[SiO₂]＝(100‑{c+f(x,y,z)}‑δ(x,y,z))，其中，[TiO₂]是氧化钛的浓度(单位，重量％)，[SiO₂]是氧化硅的浓度(单位，重量％)，c是对于预定的零交叉温度(T_zc)的氧化钛的浓度(单位，重量％)，f(x,y,z)是三维空间中的函数，其限定了中心位于坐标(x,y,z)的体积元素相对于c的平均组成的差异，以及δ(x,y,z)是三维空间中的函数，其限定了中心位于坐标(x,y,z)的体积元素的所有其他组成的总和。
通过组成变化具有 tzc 梯度膨胀氧化制品

[发明专利]热处理二氧化硅-氧化钛玻璃来诱导T_zc梯度-CN201580010800.4有效
发明人： S·安纳马莱;C·A·杜兰 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2015-02-24 - 公布日： 2019-05-10 - 主分类号： C03B19/14 文献下载
摘要：提供了在二氧化硅‑氧化钛玻璃制品中形成T_zc(零交叉温度)梯度的方法和设备。所述方法包含使玻璃制品(14)的第一表面接触加热设备(40)的第一加热模块(22)的表面，并使玻璃制品(14)的第二表面接触加热设备(40)的第二加热模块(26)的表面。所述方法还包括将第一加热模块的温度升高到第一温度，将第二加热模块的温度升高到第二温度，且将第一加热模块在第一温度下以及将第二加热模块在第二温度下保持预定时间段，从而形成在整个玻璃制品中的热梯度，其中第一温度高于第二温度。所述方法还包括冷却玻璃制品，以形成在玻璃制品整个厚度中的T_zc梯度。
热处理二氧化硅氧化玻璃诱导 tzc 梯度

[发明专利]掺杂的超低膨胀玻璃及用于制造其的方法-CN201580075988.0在审
发明人： S·安纳马莱;C·A·杜兰;K·E·贺迪纳 -专利权人：康宁股份有限公司
申请日： 2015-12-09 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： C03C3/06 文献下载
摘要：提供了掺杂的二氧化硅‑二氧化钛玻璃制品，其包括具有一种玻璃组合物的玻璃制品，所述玻璃组合物包含(i)二氧化硅‑二氧化钛基础玻璃、(ii)氟掺杂剂和(iii)第二掺杂剂。所述氟掺杂剂的氟浓度最高为5重量％，并且所述第二掺杂剂包含一种或多种氧化物，所述氧化物选自Al氧化物、Nb氧化物、Ta氧化物、B氧化物、Na氧化物、K氧化物、Mg氧化物、Ca氧化物和Li氧化物，总氧化物浓度为50ppm至6重量％。此外，所述玻璃制品的膨胀率斜率为在20℃下小于0.5ppb/K2。所述第二掺杂剂可以是任选的。所述玻璃制品的组成还可以含有小于100ppm的OH浓度。
掺杂膨胀玻璃用于制造方法