[发明专利]探针卡和检查方法在审
| 申请号： | 201780048540.9 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN109564245A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 菊田诚;安藤秀宪 | 申请（专利权）人： | 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 张敬强;李平 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 根据本发明的探针卡(100)检查具有多个焊盘(51)的工件(50)。探针卡(100)具有：平面二次电池(10)，其包括平面电极(22)并且设置成使得平面电极(22)面对工件(50)；以及设置在工件(50)和二次电池(10)之间的电连接体(30)。二次电池(10)具有能够在任意位置从平面电极(22)引出布线的结构。电连接体(30)具有朝向所面对的焊盘(51)突出的多个触头(31)；并且多个焊盘(51)和平面电极(22)通过多个触头(31)彼此电连接。 | ||
| 搜索关键词： | 二次电池 平面电极 探针卡 焊盘 电连接体 触头 引出布线 电连接 面电极 检查 | ||
【主权项】：
1.一种探针卡，其用于检查包括多个焊盘的工件，所述探针卡包括：平面形状的二次电池，其包括平面形状的平面电极并且被设置成使得所述平面电极面对所述工件；以及设置在所述工件和所述二次电池之间的电连接体，其中，所述二次电池包括能从所述平面电极的任意位置引出布线的结构，并且所述电连接体包括朝向所面对的所述焊盘突出的多个触头，并且通过置于多个所述焊盘和所述平面电极之间的多个所述触头将多个所述焊盘和所述平面电极电连接。
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