[发明专利]检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法有效
| 申请号： | 201780046355.6 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN109564244B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 山崎秀和;太田宪宏 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法可通过简单的构成使探针(Pr)的支撑状态稳定。检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板(51)，所述相对向板(51)是设有与所述基板相对向而配置的相对向面(F)；以及电极侧支撑体(6)，是具有支撑板(61)至支撑板(63)，所述支撑板(61)至支撑板(63)是与位于所述相对向板(51)的与所述相对向面(F)为相反侧处的电极板(9)相对向而配置；支撑板(61)至支撑板(63)是设有插通并支撑探针(Pr)的后端部的探针支撑孔(23)，所述探针支撑孔(23)是相对于与相对向板(51)的相对向面(F)正交的方向的基准线(Z)，沿着以一定角度(θ)倾斜的支撑线(V)而形成，并且具备限制所述探针(Pr)的后端部往与所述支撑线(V)的倾斜方向正交的方向移动的限制面。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 辅助 装置 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及电极侧支撑体，是具有支撑板，所述支撑板是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，所述探针支撑孔是相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线，沿着以一定角度倾斜的支撑线而形成，并且具备限制所述探针的后端部往与所支述撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面。
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