[发明专利]检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法

说明书

本发明的检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法可通过简单的构成使探针(Pr)的支撑状态稳定。检查辅助具包括：检查侧支撑体，是具有相对向板(51)，所述相对向板(51)是设有与所述基板相对向而配置的相对向面(F)；以及电极侧支撑体(6)，是具有支撑板(61)至支撑板(63)，所述支撑板(61)至支撑板(63)是与位于所述相对向板(51)的与所述相对向面(F)为相反侧处的电极板(9)相对向而配置；支撑板(61)至支撑板(63)是设有插通并支撑探针(Pr)的后端部的探针支撑孔(23)，所述探针支撑孔(23)是相对于与相对向板(51)的相对向面(F)正交的方向的基准线(Z)，沿着以一定角度(θ)倾斜的支撑线(V)而形成，并且具备限制所述探针(Pr)的后端部往与所述支撑线(V)的倾斜方向正交的方向移动的限制面。

技术领域

本发明涉及一种检查辅助具、具备所述辅助具的基板检查装置及检查辅助具的制造方法，所述检查辅助具是用以使探针与设于作为检查对象的基板的检查点接触。

背景技术

检查辅助具是用于从检查装置经由探针(检查销)对由基板构成的检查对象所具有的检查对象部(检查部)供应电力(电信号等)，并且通过检测来自检查对象的电输出信号，检测检查对象的电特性或实施动作试验等。

就作为检查对象的基板而言，例如有印刷配线基板、可挠性基板、陶瓷多层配线基板、液晶显示器或等离子体显示器等用的电极板、半导体封装用的封装基板或薄膜载体等各种基板、半导体晶片、半导体芯片或芯片尺寸封装(Chip size package，CSP)等的半导体基板。本说明中，将设定于所述基板的检查对象部统称为“检查点”。

例如，将集成电路(Integrated Circuit，IC)等半导体电路或电阻器等电气、电子零件搭载于作为检查对象的基板时，配线、焊料凸块等电极是成为检查点。此时，为了保障检查点能够将电信号正确地传达至所述搭载零件，是对在安装电气、电子零件前的印刷配线基板、液晶面板、等离子体显示面板等形成的配线上的规定的检查点间的电阻值等的电特性进行测量，从而判断配线的良莠。

具体而言，通过使电流供应用的探针及电压测量用的探针与检查对象的各检查点抵接，从所述电流供应用的探针对检查点供应测量用电流，并且测量抵接于检查点的电压测量用的探针的前端间的配线所产生的电压，依据所述供应电流及所测量的电压来算出规定的检查点间的配线的电阻值，从而进行所述配线的良莠的判断。

再者，在使用基板检查装置进行检查对象的检查时，所进行的控制是使辅助具移动手段动作，而在使检查辅助具的检查用探针与成为检查对象的基板的检查点抵接的状态下进行规定的检查。并且，在检查结束时，通过辅助具移动手段使检查辅助具移动而离开检查用基板。

于此，如专利文献1所公开，已知一种点测器(prober)(基板检查装置)，是具有探针与导引板，所述探针是一端部连接于对检查对象的电特性进行检查的检查装置侧，另一端部是连接于所述检查对象，并在规定位置形成有弯曲部，所述导引部是形成有供所述探针的端部插通并予以支撑的插通孔，所述点测器中，通过以朝向检查对象侧成为前端狭窄的方式倾斜的锥面，将所述插通孔形成圆锥状。

并且，将直线状延伸的探针插入隔着规定间隔平行配置的二张导引板的贯穿孔后，将探针固定于二张导引板的贯穿孔的内壁，接着使导引板相对移动而在探针形成弯曲部，接着解除至少一张导引板的贯穿孔的固定，然后在二张导引板间嵌入框架体并予以平行地支撑，由此将全部的探针总括地折弯，在相同形状的探针的规定位置形成弯曲部，并使探针的挫曲方向固定，而可防止相邻的探针彼此接触，并且使探针的前端部的倾斜变小。