[发明专利]检查辅助具、基板检查装置及检查辅助具的制造方法

权利要求书

1.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：

检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及

电极侧支撑体，是通过层叠多片支撑板而构成，所述多片支撑板的其中之一是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；

所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，

所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，

所述探针支撑孔包括相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线而沿着以一定角度倾斜的支撑线分别形成在所述多片支撑板上且为连续的多个支撑孔，并且具备使用连续的所述多个支撑孔的内周面所形成且限制所述探针的后端部往与所述支撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面，其中，

所述支撑板的探针支撑孔的与所述支撑线正交的方向的剖面形状是形成为真圆形，并通过形成所述真圆形的探针支撑孔的圆周面构成所述限制面。

2.一种检查辅助具，是用以使探针接触设于作为检查对象的基板的检查点的检查辅助具，所述检查辅助具包括：

检查侧支撑体，是具有相对向板，所述相对向板是设有与所述基板相对向而配置的相对向面；以及

电极侧支撑体，是通过层叠多片支撑板而构成，所述多片支撑板的其中之一是与位于所述相对向板的与所述相对向面为相反侧处的电极板相对向而配置；

所述相对向板是形成有用以插通所述探针的前端部的探针插通孔，

所述电极侧支撑体是对应于所述相对向板的探针插通孔而设有插通并支撑所述探针的后端部的探针支撑孔，

所述探针支撑孔包括相对于与所述相对向板的相对向面正交的方向的基准线而沿着以一定角度倾斜的支撑线所形成且限制所述探针的后端部往与所述支撑线的倾斜方向正交的方向移动的限制面，

所述电极侧支撑体的探针支撑孔是通过各自具有往所述支撑线的倾斜方向延伸的一对平行线的剖面形状为长圆形的多个支撑孔所构成，所述多个支撑孔是分别形成于多片所述支撑板，且通过形成为长圆形的所述多个支撑孔的多对平行线构成所述限制面，并且，通过将形成于多片所述支撑板的各支撑孔的中心相对于所述基准线往一定方向逐一稍微偏移而配设，从而构成所述探针支撑孔。

3.一种基板检查装置，是包括：权利要求1或2所述的检查辅助具；以及检查部，是电性连接于探针的后端部，并且对于所述探针的后端部赋予电信号而进行基板检查。

4.一种检查辅助具的制造方法，是制造权利要求1或2所述的检查辅助具，所述制造方法是通过对所述支撑板照射激光进行激光加工而形成所述探针支撑孔。

5.一种检查辅助具的制造方法，是制造权利要求1所述的检查辅助具，所述制造方法是在层叠多片所述支撑板并予以定位的状态下，沿着所述支撑线照射激光，由此形成所述探针支撑孔。