[发明专利]感光性树脂组合物、其固化物、层间绝缘膜、表面保护膜和电子部件在审
申请号: | 201780046054.3 | 申请日: | 2017-07-25 |
公开(公告)号: | CN109478016A | 公开(公告)日: | 2019-03-15 |
发明(设计)人: | 东绫香;阿部悟志;副岛和也;西村正人;中村惟允 | 申请(专利权)人: | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/023 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 钟晶;金鲜英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有酸性官能团或其衍生取代基的聚合物、(B)光反应性化合物、(C)溶剂、以及(D)下述通式(1)所表示的含氮芳香族化合物。 |
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搜索关键词: | 感光性树脂组合物 含氮芳香族化合物 光反应性化合物 表面保护膜 层间绝缘膜 酸性官能团 电子部件 聚合物 固化物 溶剂 | ||
【主权项】:
1.一种感光性树脂组合物,其含有:(A)具有酸性官能团或其衍生取代基的聚合物、(B)光反应性化合物、(C)溶剂、以及(D)下述通式(1)所表示的含氮芳香族化合物,
式中,R1为氢原子或烃基,R2为氢原子、氨基、烷基、烯基、碳原子数3~10的环状脂肪族基团或苯基,A、B和E各自独立地为N或CR3,R3为氢原子或1价有机基团,存在多个R3的情况下,多个R3可以彼此相同也可以不同。
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