[发明专利]感光性树脂组合物、其固化物、层间绝缘膜、表面保护膜和电子部件在审
| 申请号： | 201780046054.3 | 申请日： | 2017-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN109478016A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 东绫香;阿部悟志;副岛和也;西村正人;中村惟允 | 申请（专利权）人： | 日立化成杜邦微系统股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08G73/10;C08G73/22;G03F7/023 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 钟晶;金鲜英 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性树脂组合物 含氮芳香族化合物 光反应性化合物 表面保护膜 层间绝缘膜 酸性官能团 电子部件 聚合物 固化物 溶剂 | ||
1.一种感光性树脂组合物，其含有：
(A)具有酸性官能团或其衍生取代基的聚合物、
(B)光反应性化合物、
(C)溶剂、以及
(D)下述通式(1)所表示的含氮芳香族化合物，
式中，R1为氢原子或烃基，R2为氢原子、氨基、烷基、烯基、碳原子数3～10的环状脂肪族基团或苯基，A、B和E各自独立地为N或CR3，R3为氢原子或1价有机基团，存在多个R3的情况下，多个R3可以彼此相同也可以不同。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，所述(A)成分为选自由聚酰亚胺前体、聚苯并唑前体、以及它们的共聚物组成的组中的一种以上。
3.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述聚苯并唑前体具有下述通式(2-1)所表示的结构单元和下述通式(2-2)所表示的结构单元，
式中，X和T各自独立地为2价有机基团，X是与T不同的基团，Y为4价有机基团，R各自独立地为氢原子或1价有机基团，l和m为摩尔分数，将l和m之和设为100摩尔％的情况下，l为60～100摩尔％，m为0～40摩尔％。
4.根据权利要求2所述的感光性树脂组合物，所述聚酰亚胺前体具有下述通式(3-1)所表示的结构单元和下述通式(3-2)所表示的结构单元，
式中，U和W各自独立地为2价有机基团，U是与W不同的基团，V为4价有机基团，R’各自独立地为氢原子或1价有机基团，j和k为摩尔分数，将j与k之和设为100摩尔％的情况下，j为60～100摩尔％，k为0～40摩尔％。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的感光性树脂组合物，所述(D)成分为具有三唑骨架或四唑骨架的化合物。
6.一种权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物的固化物。
7.一种使用了权利要求6所述的固化物的层间绝缘膜或表面保护膜。
8.一种电子部件，其具有权利要求7所述的层间绝缘膜或权利要求7所述的表面保护膜。
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