[发明专利]角速度传感器、传感器元件以及多轴角速度传感器

摘要

角速度传感器具有压电体、驱动电路以及检测电路。压电体具有一对框体、一对驱动臂以及一对检测臂。一对框体在正交坐标系xyz的y轴方向上相互对置。一对驱动臂分别架设于一对框体之间，且在x轴方向上相互对置。一对检测臂在x轴方向上成为一对驱动臂之间的位置处从一对框体向y轴方向延伸。驱动电路向一对驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得一对驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并振动。检测电路检测通过一对检测臂在z轴方向上的弯曲变形而产生的信号。

主权项

1.一种角速度传感器，具有：压电体，具有：在正交坐标系xyz的y轴方向上相互对置的一对框体；分别架设于所述一对框体之间，且在x轴方向上相互对置的一对驱动臂；以及在x轴方向上成为所述一对驱动臂之间的位置处从所述一对框体向y轴方向延伸的一对第一检测臂；驱动电路，向所述一对驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得所述一对驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并进行振动；和检测电路，检测通过所述一对第一检测臂在z轴方向或者x轴方向上的弯曲变形而产生的信号。