[发明专利]角速度传感器、传感器元件以及多轴角速度传感器

权利要求书

1.一种角速度传感器，具有：

压电体，具有：在正交坐标系xyz的y轴方向上相互对置的一对框体；分别架设于所述一对框体之间，且在x轴方向上相互对置的一对驱动臂；以及在x轴方向上成为所述一对驱动臂之间的位置处从所述一对框体向y轴方向延伸的一对第一检测臂；

驱动电路，向所述一对驱动臂施加相互相反的相位的电压，以使得所述一对驱动臂在x轴方向上向相互相反侧弯曲并进行振动；和

检测电路，检测通过所述一对第一检测臂在z轴方向或者x轴方向上的弯曲变形而产生的信号。

2.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，

所述检测电路检测通过所述一对第一检测臂在z轴方向上的弯曲变形而产生的信号。

3.根据权利要求1所述的角速度传感器，其中，

所述检测电路检测通过所述一对第一检测臂在x轴方向上的弯曲变形而产生的信号。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的角速度传感器，其中，

所述一对第一检测臂向所述一对框体的内侧延伸。

5.根据权利要求4所述的角速度传感器，其中，

所述压电体还具有：

一对第二检测臂，在x轴方向上成为所述一对驱动臂之间的位置处，从所述一对框体向所述一对框体的外侧延伸。

6.根据权利要求2所述的角速度传感器，其中，

所述角速度传感器还具有：

一对第一激发电极，在所述一对驱动臂每一个上，位于与z轴方向的两侧面对的一对第一面；

一对第二激发电极，在所述一对驱动臂每一个上，位于与x轴方向的两侧面对的一对第二面；

一对第一检测电极，在所述一对第一检测臂每一个上，位于与x轴方向的负侧面对的第三面的比其中央更靠z轴方向的正侧的位置、和与x轴方向的正侧面对的第四面的比其中央更靠z轴方向的负侧的位置；

一对第二检测电极，位于所述第三面的比其中央更靠z轴方向的负侧的位置、和所述第四面的比其中央更靠z轴方向的正侧的位置；以及

多个布线，将所述一对驱动臂每一个上的所述一对第一激发电极彼此连接，将所述一对驱动臂每一个上的所述一对第二激发电极彼此连接，在所述一对驱动臂彼此，将所述一对第一激发电极与所述一对第二激发电极连接，将所述一对第一检测臂每一个上的所述一对第一检测电极彼此连接，并且将所述一对第一检测臂每一个上的所述一对第二检测电极彼此连接，

所述驱动电路经由所述多个布线，在所述一对驱动臂每一个，向所述一对第一激发电极与所述一对第二激发电极之间施加电压，

所述检测电路经由所述多个布线来检测所述一对第一检测电极与所述一对第二检测电极之间的电压。

7.根据权利要求3所述的角速度传感器，其中，

所述角速度传感器还具有：

一对第一激发电极，在所述一对驱动臂每一个上，位于与z轴方向的两侧面对的一对第一面；

一对第二激发电极，在所述一对驱动臂每一个上，位于与x轴方向的两侧面对的一对第二面；

一对第一检测电极，在所述一对第一检测臂每一个上，位于与z轴方向的两侧面对的一对第三面；

一对第二检测电极，在所述一对第一检测臂每一个上，位于与x轴方向的两侧面对的一对第四面；以及

多个布线，将所述一对驱动臂每一个上的所述一对第一激发电极彼此连接，将所述一对驱动臂每一个上的所述一对第二激发电极彼此连接，在所述一对驱动臂彼此，将所述一对第一激发电极与所述一对第二激发电极连接，将所述一对第一检测臂每一个上的所述一对第一检测电极彼此连接，并且将所述一对第一检测臂每一个上的所述一对第二检测电极彼此连接，

所述驱动电路经由所述多个布线，在所述一对驱动臂每一个，向所述一对第一激发电极与所述一对第二激发电极之间施加电压，

所述检测电路经由所述多个布线来检测所述一对第一检测电极与所述一对第二检测电极之间的电压。